P-562.6CD PIMars 6-Achsen-Piezosystem

Hochpräzises Nanopositioniersystem mit 6 Freiheitsgraden

6 Bewegungsachsen: 3 × linear, 3 × Rotation
Stellwege bis 200 µm linear und bis 1 mrad Kippwinkel
Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Exzellente Scan-Ebenheit
Freie Apertur 66 mm × 66 mm
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
UHV-kompatibel bis 10-9 hPa


P-562.6CD

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X, Y, Z, θX, θY, θZ


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Stellweg in X, Y, Z, geregelt

200

µm

Kippwinkel in θX, θY, θZ, geregelt

±0,5

mrad

Auflösung in X, Y, Z, geregelt

1

nm

typ.

Auflösung in θX, θY, θZ, geregelt

0,1

µrad

typ.

Linearitätsabweichung in X, Y, Z

0,01

%

typ.

Linearitätsabweichung in θX, θY, θZ

0,1

%

typ.

Wiederholgenauigkeit in X / Y / Z

±2 / ±2 / ±3

nm

typ.

Wiederholgenauigkeit in θX / θY / θZ

±0,1 / ±0,1 / ±0,15

µrad

typ.

Ebenheit

<15

nm

typ.

Resonanzfrequenz unbelastet in X / Y / Z

110 / 110 / 190

Hz

±20 %

Belastbarkeit

50

N

max.

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

120 / 30

N

max.


Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA®

Elektrische Kapazität in X / Y / Z

7,4 / 7,4 / 14,8

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient (DSK) in X / Y / Z

4,6 / 4,6 / 9,2

µA/(Hz × µm)

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Masse

1,45

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

2 × D-Sub-Spezial

Andere Stellwege auf Anfrage.

Empfohlene Controller

E-710.6CD wurde bereits abgelöst

E-712.6CD Digitalcontroller

Zeichnungen / Bilder

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt P-562.6CD

PIMars 6-Achsen-Piezosystem hochpräzises Nanopositioniersystem mit 6 Freiheitsgraden
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3D Modelle

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P-562.6CD STEP

Englisch
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