P-911KNMV UHV-kompatibler Miniatur-Hexapod

Hochpräzise Positionierung auch in starken Magnetfeldern

Der Mini-Hexapod bewegt Lasten bis ca. 1,5 kg über lineare Stellwege bis zu 1,5 mm und Winkel bis zu 2°. Die eingesetzten Schreitantriebe arbeiten auch unter Magnetfeldern zuverlässig.
Ultrakompakt
UHV-kompatibel bis 10-9 hPa
Nichtmagnetisch
Höchste Präzision durch Festkörpergelenke
Belastbarkeit bis 1,5 kg
Stellwege bis 1,5 mm, bis 2°
Mit NEXLINE® Piezoschreitantrieben

Der platzsparende parallelkinematische Aufbau ermöglicht die geringe Bauhöhe von unter 90 mm und den Durchmesser von nur 100 mm. NEXLINE® Piezoschreitantriebe und integrierte inkrementelle Sensoren sorgen für eine Positionsauflösung bis zu 0,1 µm in den Linearachsen


Stellwege

Max. Belastbarkeit

Sensorauflösung

Abmessungen

P-911KNMV Miniatur-Hexapod

X, Y, Z: 1,5 mm

θX, θY, θZ: 2°

1,5 kg

0,1 µm

Ø außen: 100 mm

Höhe: 90 mm

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PI Datenblatt P-911KNMV

UHV-kompatibler Miniatur-Hexapod hochpräzise Positionierung auch in starken Magnetfeldern
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