M-850KTVH 6-Achsen-Vakuum-Hexapod

Parallelkinematiksystem für große Temperaturbereiche

Sechs Freiheitsgrade, arbeitet in jeder Orientierung
Vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Vertikale Belastbarkeit 2000 N
Wiederholgenauigkeit bis ±1 µm
Encoderauflösung bis 5 nm


Betriebstemperaturbereich

Lagertemperatur

Stellwege

Abmessungen

M-850KTVH Vakuum-Hexapod

-10 bis 25 °C

-20 bis 40 °C

X, Y: ±50 mm

Z: ±25 mm

θX, θY: ±15°θZ: ±30°

Ø 350 mm

Höhe: 330 mm

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PI Datenblatt M-850KTVH

6-Achsen-Vakuum-Hexapod Parallelkinematiksystem für große Temperaturbereiche
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