PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 150 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, Winkelmesssystem mit sin/cos-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
A-63x PIglide RL Flacher Rotationstisch mit Luftlager
Reibungsfrei, motorisiert
- Durchmesser Bewegungsplattform 150 mm, 200 mm oder 350 mm
- Niedrige Bauhöhe
- Exzentrizität und Ebenheit < 100 nm
- Möglichkeit zur Selbsthemmung im Stillstand durch magnetische Vorspannung
Produktübersicht
Die direktangetriebenen Rotationstische der PIglide RL-Serie sind für höchste Präzision ausgelegt und haben eine flache Bauform. Verschiedene Optionen können zu einer Lösung kombiniert werden, die ideal für Punkt-zu-Punkt Indizierung oder Scannen mit konstanter Geschwindigkeit ist. Die RL-Tische bieten eine überragende Leistung bei Ablaufgenauigkeit, Ebenheit und Taumeln.
3-Phasen-Torquemotor
- Bürstenlos
- Nutenlos
- Geringes Rastmoment
Absolutencoder (optional)
Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden.
Zubehör und Optionen
- Inkrementeller oder absoluter Encoder
- Vakuumdurchführung
- Selbsthemmung im Stillstand durch magnetische Vorspannung
- Freie Apertur auf Anforderung
- PIglide Filter und Druckregler
- Ein- oder mehrachsige Motion Controller und Servoantriebe
- Mehrachs-/ kundenspezifische Aufbauten
- Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung
Einsatzgebiete
Optische Justage, Waferinspektion, Waferjustage, Messtechnik, Inspektionssysteme, Kalibrierung, Scannen.
Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen | A-634.A100 | A-634.B100 | A-635.A100 | A-635.B100 | A-638.A100 | A-638.B100 | Toleranz |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Aktive Achsen | θZ | θZ | θZ | θZ | θZ | θZ | |
Rotationsbereich in θZ | 360 ° | 360 ° | 360 ° | 360 ° | 360 ° | 360 ° | |
Maximale Winkelgeschwindigkeit in θZ, unbelastet | 500 min⁻¹ | 500 min⁻¹ | 500 min⁻¹ | 500 min⁻¹ | 500 min⁻¹ | 500 min⁻¹ | |
Lineares Übersprechen in X bei Bewegung in θZ | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,075 µm | ± 0,075 µm | ± 0,005 µm | ± 0,005 µm | max. |
Lineares Übersprechen in Y bei Bewegung in θZ | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,075 µm | ± 0,075 µm | ± 0,005 µm | ± 0,005 µm | max. |
Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in θZ | ± 0,038 µm | ± 0,038 µm | ± 0,038 µm | ± 0,038 µm | ± 0,025 µm | ± 0,025 µm | max. |
Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in θZ | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 0,5 µrad | ± 0,5 µrad | max. |
Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in θZ | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 0,5 µrad | ± 0,5 µrad | max. |
Positionieren | A-634.A100 | A-634.B100 | A-635.A100 | A-635.B100 | A-638.A100 | A-638.B100 | Toleranz |
Integrierter Sensor | Inkrementelles Winkelmesssystem | Absolutes Winkelmesssystem | Inkrementelles Winkelmesssystem | Absolutes Winkelmesssystem | Inkrementelles Winkelmesssystem | Absolutes Winkelmesssystem | |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in θZ | ± 4 µrad | ± 4 µrad | ± 4 µrad | ± 4 µrad | ± 4 µrad | ± 4 µrad | typ. |
Positioniergenauigkeit in θZ, kalibriert | ± 8 µrad | ± 8 µrad | ± 8 µrad | ± 8 µrad | ± 8 µrad | ± 8 µrad | typ. |
Sensorsignal | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | |
Sensorsignalperioden / U | 23600 | 31488 | 31488 | ||||
Sensorauflösung, rotatorisch | 0,06 µrad | 0,0015 µrad | 0,05 µrad | 0,0015 µrad | 0,05 µrad | 0,0015 µrad | |
Referenzschalter | 1 / Umdrehung, Differenzialpuls über eine Sensorsignalperiode, 1 V Spitze-Spitze | 1 / Umdrehung, Differenzialpuls über eine Sensorsignalperiode, 1 V Spitze-Spitze | 1 / Umdrehung, Differenzialpuls über eine Sensorsignalperiode, 1 V Spitze-Spitze | ||||
Antriebseigenschaften | A-634.A100 | A-634.B100 | A-635.A100 | A-635.B100 | A-638.A100 | A-638.B100 | Toleranz |
Antriebstyp | Eisenloser 3-Phasen-Torquemotor | Eisenloser 3-Phasen-Torquemotor | Eisenloser 3-Phasen-Torquemotor | Eisenloser 3-Phasen-Torquemotor | Eisenloser 3-Phasen-Torquemotor | Eisenloser 3-Phasen-Torquemotor | |
Nennspannung | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | |
Spitzenspannung | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | |
Nennstrom, effektiv | 2,3 A | 2,3 A | 4,5 A | 4,5 A | 4,5 A | 4,5 A | typ. |
Spitzenstrom, effektiv | 6,9 A | 6,9 A | 13,9 A | 13,9 A | 13,9 A | 13,9 A | typ. |
Antriebsmoment gegen die Uhrzeigerrichtung in θZ | 1,6 N·m | 1,6 N·m | 2,8 N·m | 2,8 N·m | 2,8 N·m | 2,8 N·m | max. |
Antriebsmoment in Uhrzeigerrichtung in θZ | 1,6 N·m | 1,6 N·m | 2,8 N·m | 2,8 N·m | 2,8 N·m | 2,8 N·m | max. |
Spitzenmoment gegen die Uhrzeigerrichtung in θZ | 4,7 N·m | 4,7 N·m | 8,5 N·m | 8,5 N·m | 8,5 N·m | 8,5 N·m | max. |
Spitzenmoment in Uhrzeigerrichtung in θZ | 4,7 N·m | 4,7 N·m | 8,5 N·m | 8,5 N·m | 8,5 N·m | 8,5 N·m | max. |
Drehmomentkonstante | 0,59 N·m/A | 0,59 N·m/A | 0,66 N·m/A | 0,66 N·m/A | 0,66 N·m/A | 0,66 N·m/A | typ. |
Widerstand Phase-Phase | 6,7 Ω | 6,7 Ω | 4,5 Ω | 4,5 Ω | 4,5 Ω | 4,5 Ω | typ. |
Induktivität Phase-Phase | 0,9 mH | 0,9 mH | 0,6 mH | 0,6 mH | 0,6 mH | 0,6 mH | |
Gegen-EMK Phase-Phase, rotatorisch | 71 V/kRPM | 71 V/kRPM | 80 V/kRPM | 80 V/kRPM | 80 V/kRPM | 80 V/kRPM | max. |
Mechanische Eigenschaften | A-634.A100 | A-634.B100 | A-635.A100 | A-635.B100 | A-638.A100 | A-638.B100 | Toleranz |
Lagertyp | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | |
Bewegte Masse in θZ, unbelastet | 1900 g | 1900 g | 3600 g | 3600 g | 11000 g | 11000 g | ±5 % |
Trägheitsmoment in θZ, unbelastet | 6640 kg·mm² | 6640 kg·mm² | 23400 kg·mm² | 23400 kg·mm² | 146655 kg·mm² | 146655 kg·mm² | ±20% |
Zulässige Druckkraft in X | 40 N | 40 N | 80 N | 80 N | 200 N | 200 N | max. |
Zulässige Druckkraft in Y | 40 N | 40 N | 80 N | 80 N | 200 N | 200 N | max. |
Zulässige Druckkraft in Z | 190 N | 190 N | 320 N | 320 N | 1200 N | 1200 N | max. |
Zulässiges Moment in θX | 4,5 N·m | 4,5 N·m | 12 N·m | 12 N·m | 130 N·m | 130 N·m | max. |
Zulässiges Moment in θY | 4,5 N·m | 4,5 N·m | 12 N·m | 12 N·m | 130 N·m | 130 N·m | max. |
Gesamtmasse | 4600 g | 4600 g | 7500 g | 7500 g | 24000 g | 24000 g | ±5 % |
Material | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | |
A-634.A100 | A-634.B100 | A-635.A100 | A-635.B100 | A-638.A100 | A-638.B100 | Toleranz | |
Anschluss | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | |
Sensoranschluss | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | |
Betriebsdruck | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | |
Luftdurchsatz | 56 L/min | 56 L/min | 56 L/min | 56 L/min | 56 L/min | 56 L/min | max. |
Luftqualität | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | |
Empfohlene Controller / Treiber | A-81x (1, 2 oder 4 Achsen) A-82x (4, 6 oder 8 Achsen) | A-81x (1, 2 oder 4 Achsen) A-82x (4, 6 oder 8 Achsen) | A-81x (1, 2 oder 4 Achsen) A-82x (4, 6 oder 8 Achsen) | A-81x (1, 2 oder 4 Achsen) A-82x (4, 6 oder 8 Achsen) | A-81x (1, 2 oder 4 Achsen) A-82x (4, 6 oder 8 Achsen) | A-81x (1, 2 oder 4 Achsen) A-82x (4, 6 oder 8 Achsen) | |
Betriebstemperaturbereich | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C |
Hinweis zu linearem und rotatorischem Übersprechen: Abhängig von der Qualität des Untergrundes, der Nutzlast, der Orientierung und Kräften, die von außen auf den Tisch wirken. Bitte kontaktieren Sie PI für applikationsspezifische Parameter. Angegebene Werte sind statisch (keine Rotationsbewegung während der Messung) und ohne Last.
Hinweis zu zulässiger Druckkraft und zulässigem Moment: Die aufgeführten Werte setzen eine Luftversorgung mit 550 kPa (80 psi) voraus. Für andere Drücke, wenden Sie sich bitte an PI.
Hinweis zu Winkelgeschwindigkeit: Kann durch Nutzlast, Nutzlastunwucht, Controller oder Antrieb eingeschränkt werden.
Hinweis zu Sensorauflösung bei A-63x.A100: Geht von einer 4096-fachen Interpolation aus. Kontaktieren Sie PI für den Einsatz anderer Faktoren.
Hinweis zu Positioniergenauigkeit: Mit Führungsfehlerkompensation. Angegebene Werte basieren auf Controller-gesteuerter Fehlerkompensation. Der Tisch muss mit einem Controller der Serie A-8xx von PI geordert werden, um diese Werte zu erreichen. Genauigkeitswerte gehen von kurzfristiger Dauer aus und berücksichtigen die Langzeitfolgen der thermischen Drift auf den Tisch nicht.
Hinweis zu Betriebsdruck: Zum Schutz des Tischs gegen Schäden wird empfohlen, einen Luftdrucksensor an den Motion-Stop-Eingang des Controllers anzuschließen.
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Benutzerhandbuch A630D0001
A-63x Series Low Profile Rotary Air Bearing Stage PIglide RL, Direct-drive Torque Motor Driven with Encoder Feedback
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PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 150 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, absolutes Winkelmesssystem mit BiSS-C-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 200 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, Winkelmesssystem mit sin/cos-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 200 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, absolutes Winkelmesssystem mit BiSS-C-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 350 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, Winkelmesssystem mit sin/cos-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 350 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, absolutes Winkelmesssystem mit BiSS-C-Signalübertragung, nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
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Technologie
PIglide Luftlager-Technologie
Der Magnetantrieb kann eine luftgelagerte bewegte Plattform innerhalb weniger Nanometer linear oder weniger Bogensekunden rotatorisch positionieren.
Magnetische Direktantriebe
Magnetische Direktantriebe bieten vor allem hinsichtlich Verschleiß und Dynamik Vorteile gegenüber klassischen spindelbasierten Lösungen.