Q-545 Q-Motion® Präzisions-Lineartisch

Hohe Kräfte und kleine Bauform durch Piezomotoren

Q-545 Q-Motion® Präzisions-Lineartisch
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  • Nur 45 mm breit
  • Druck- / Zugkraft 8 N
  • Inkrementelle Sensoren mit Positionsauflösung
  • XY-Kombinationen ohne Adapterplatte möglich
  • Vakuumkompatibel bis 10-6 hPa (Q-545.xx0)
  • Vakuumkompatibel bis 10-9 hPa (Q-545.xxU)

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoträgheitsantriebe sind platzsparende und preiswerte piezobasierte Antriebe mit relativ hohen Haltekräften und prinzipiell unbegrenztem Stellweg. Das Trägheitsantriebsprinzip basiert auf einem einzelnen piezoelektrischen Aktor, der über die Treiberelektronik mit einer modifizierten Sägezahnspannung angesteuert wird. Der Aktor dehnt sich langsam aus und nimmt einen Läufer mit. Die darauf folgende schnelle Kontraktion des Aktors kann der Läufer aufgrund seiner Trägheit nicht nachvollziehen und verharrt auf seiner Position. Mit einer Betriebsfrequenz von bis zu 20 kHz erreichen direkt auf den Läufer wirkende Antriebe Geschwindigkeiten bis max. 10 mm/s.

Direktes Messprinzip

Versionen mit berührungslos messendem optischen Linearencoder verfügbar. Auflösung 1 nm. Versionen mit Encoder besitzen einen Referenzschalter

Vakuum und nichtmagnetische Umgebung

Alle Q-Motion® Lineartische sind für den Betrieb im Hochvakuum bis 10-6 hPa geeignet. Darüber hinaus sind Ultrahochvakuum-Varianten für 10-9 hPa verfügbar. Auf Anfrage sind nichtmagnetische Versionen verfügbar

Einsatzgebiete

Mikromontage, Photonik, Optische Justage, Mikroskopie, Beamline-Instrumentierung, Halbleitertechnik, Testanwendungen

Spezifikationen

Datenblatt Q-545

Version / Datum
2018-11-06
Version / Datum
2018-11-06
Version / Datum
2018-11-06
Dokumentsprache
pdf - 905 KB
pdf - 913 KB
pdf - 1,003 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt Q-545

Version / Datum
2018-11-06
Version / Datum
2018-11-06
Version / Datum
2018-11-06
Dokumentsprache
pdf - 905 KB
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Dokumentation

Kurzanleitung MP139EK

Q-5xx, Q-6xx PIShift Versteller
Version / Datum
3.1.0 2018-06-19
pdf - 696 KB

Benutzerhandbuch MP135

Q-545 Linearversteller, piezoelektrischer Trägheitsantrieb
Version / Datum
2015-07-10
Version / Datum
2015-07-10
Dokumentsprache
pdf - 2 MB
pdf - 2 MB

3-D-Modelle

Q-545 3D-Modell

Angebot / Bestellung

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Q-545.100
Q-Motion® Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 13 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 8 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 45 × 48 × 15 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-545.10U
Q-Motion® Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 13 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 8 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 45 × 48 × 15 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
Q-545.140
Q-Motion® Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 13 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 8 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 45 × 48 × 15 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-545.14U
Q-Motion® Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 13 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 8 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 45 × 48 × 15 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
Q-545.200
Q-Motion® Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 26 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 8 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 45 × 63 × 15 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-545.20U
Q-Motion® Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 26 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 8 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 45 × 63 × 15 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
Q-545.240
Q-Motion® Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 26 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 8 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 45 × 63 × 15 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-545.24U
Q-Motion® Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 26 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 8 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 45 × 63 × 15 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-9 hPa