Q-522 Q-Motion® Miniatur-Lineartisch

Piezomotoren für kleine Abmessungen, hohe Auflösung und mit günstigem Preis

Q-522 Q-Motion® Miniatur-Lineartisch
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Nur 22 mm breit und 10 mm hoch
  • Direkte Positionsmessung mit inkrementellem Encoder mit bis zu 1 nm Auflösung
  • Kleinste Schrittweite bis zu 2 nm
  • XY-Montage ohne Adapter
  • Rotationstisch Q-622 ohne Adapter montierbar
  • Geeignet für Vakuum bis 10-6 hPa, Versionen bis 10-9 hPa verfügbar

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoträgheitsantriebe sind platzsparende und preiswerte piezobasierte Antriebe mit relativ hohen Haltekräften und prinzipiell unbegrenztem Stellweg. Das Trägheitsantriebsprinzip basiert auf einem einzelnen piezoelektrischen Aktor, der über die Treiberelektronik mit einer modifizierten Sägezahnspannung angesteuert wird. Der Aktor dehnt sich langsam aus und nimmt einen Läufer mit. Die darauf folgende schnelle Kontraktion des Aktors kann der Läufer aufgrund seiner Trägheit nicht nachvollziehen und verharrt auf seiner Position. Mit einer Betriebsfrequenz von bis zu 20 kHz erreichen direkt auf den Läufer wirkende Antriebe Geschwindigkeiten bis max. 10 mm/s.

Direktes Messprinzip

Versionen mit berührungslos messendem optischen Linearencoder verfügbar. Auflösung versionsabhängig 4 nm oder 1 nm. Versionen mit Encoder besitzen einen Referenzschalter

Vakuum und nichtmagnetische Umgebung

Alle Q-Motion® Lineartische sind für den Betrieb im Hochvakuum bis 10-6 hPa geeignet. Darüber hinaus sind Ultrahochvakuum-Varianten für 10-9hPa verfügbar. Auf Anfrage sind nichtmagnetische Versionen verfügbar

Einsatzgebiete

Mikromontage, Photonik, Optische Justage, Mikroskopie, Beamline-Instrumentierung, Halbleitertechnik, Testanwendungen

Spezifikationen

Datenblatt Q-522

Version / Datum
2018-05-02
Version / Datum
2018-05-02
Version / Datum
2018-06-22
Dokumentsprache
pdf - 1 MB
pdf - 1 MB
pdf - 1 MB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt Q-522

Version / Datum
2018-05-02
Version / Datum
2018-05-02
Version / Datum
2018-06-22
Dokumentsprache
pdf - 1 MB
pdf - 1 MB
pdf - 1 MB

Dokumentation

Benutzerhandbuch MP134

Q-522 Q-Motion Miniatur-Linearversteller, piezoelektrischer Trägheitsantrieb
Version / Datum
2015-02-24
Version / Datum
2015-02-24
Dokumentsprache
pdf - 2 MB
pdf - 2 MB

Kurzanleitung MP139EK

Q-5xx, Q-6xx PIShift Versteller
Version / Datum
3.1.0 2018-06-19
pdf - 696 KB

3-D-Modelle

Q-522 3D-Modell

Angebot / Bestellung

Fordern Sie ein unverbindliches Angebot über gewünschte Stückzahlen, Preise und Lieferzeiten an oder beschreiben Sie ihre gewünschte Modifikation. Produkte, die online verfügbar sind, können Sie direkt bestellen.

Q-522.000
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 6,5 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 22 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-522.00U
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 6,5 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 22 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
Q-522.030
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 6,5 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 22 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-522.040
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 6,5 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 22 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-522.04U
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 6,5 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 22 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
Q-522.100
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 13 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 32 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-522.10U
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 13 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 32 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
Q-522.130
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 13 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 32 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-522.140
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 13 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 32 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-522.14U
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 13 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 32 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
Q-522.200
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 26 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 42 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-522.20U
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 26 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 42 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
Q-522.230
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 26 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 42 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-522.240
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 26 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 42 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-522.24U
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 26 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 42 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

Kontaktieren Sie uns!

Erhalten Sie innerhalb kürzester Zeit per E-Mail oder Telefon eine Rückmeldung zu Ihren Fragen von einem PI Vertriebsingenieur.