Q-521 Q-Motion® Miniatur-Lineartisch

Kleinster Lineartisch mit Positionsregelung, hoher Auflösung und günstigem Preis

Q-521 Q-Motion® Miniatur-Lineartisch
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  • Nur 21 mm breit und 10 mm hoch
  • Direkte Positionsmessung mit integriertem inkrementellen Encoder
  • Encoderauflösung bis zu 1 nm
  • Kleinste Schrittweite bis zu 2 nm
  • Aufbau von Mehrachssystemen mit Adapterplatte oder -winkel (optional erhältlich)
  • Geeignet für Vakuum bis 10-6 hPa, Versionen bis 10-9 hPa verfügbar

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoträgheitsantriebe sind platzsparende und preiswerte piezobasierte Antriebe mit relativ hohen Haltekräften und prinzipiell unbegrenztem Stellweg. Das Trägheitsantriebsprinzip basiert auf einem einzelnen piezoelektrischen Aktor, der über die Treiberelektronik mit einer modifizierten Sägezahnspannung angesteuert wird. Der Aktor dehnt sich langsam aus und nimmt einen Läufer mit. Die darauf folgende schnelle Kontraktion des Aktors kann der Läufer aufgrund seiner Trägheit nicht nachvollziehen und verharrt auf seiner Position. Mit einer Betriebsfrequenz von bis zu 20 kHz erreichen direkt auf den Läufer wirkende Antriebe Geschwindigkeiten bis max. 10 mm/s.

Direktes Messprinzip

Versionen mit berührungslos messendem optischen Linearencoder verfügbar. Auflösung versionsabhängig 4 nm oder 1 nm. Versionen mit Encoder besitzen einen Referenzschalter.

Vakuum und nichtmagnetische Umgebung

Alle Q-Motion® Lineartische sind für den Betrieb im Hochvakuum bis 10-6 hPa geeignet. Darüber hinaus sind Ultrahochvakuum-Varianten für 10-9 hPa verfügbar. Auf Anfrage sind nichtmagnetische Versionen verfügbar.

Einsatzgebiete

Mikromontage, Photonik, Optische Justage, Mikroskopie, Beamline-Instrumentierung, Halbleitertechnik, Testanwendungen

Spezifikationen

Datenblatt Q-521

Version / Datum
2018-05-02
Version / Datum
2018-05-02
Version / Datum
2018-06-21
Dokumentsprache
pdf - 710 KB
pdf - 708 KB
pdf - 799 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt Q-521

Version / Datum
2018-05-02
Version / Datum
2018-05-02
Version / Datum
2018-06-21
Dokumentsprache
pdf - 710 KB
pdf - 708 KB
pdf - 799 KB

Dokumentation

Kurzanleitung MP139EK

Q-5xx, Q-6xx PIShift Versteller
Version / Datum
3.1.0 2018-06-19
pdf - 696 KB

Benutzerhandbuch MP145

Q-521 Q-Motion Miniatur-Linearversteller, piezoelektrischer Trägheitsantrieb
Version / Datum
2016-03-17
Version / Datum
2016-03-15
Dokumentsprache
pdf - 3 MB
pdf - 3 MB

3-D-Modelle

Q-521 3D-Modell

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Q-521.100
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 12 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-521.130
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 12 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-521.140
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 12 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-521.14U
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 12 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
Q-521.200
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 22 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-521.230
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 22 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-521.240
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 22 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-521.24U
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 22 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
Q-521.300
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 32 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-521.330
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 32 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-521.340
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 32 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
Q-521.34U
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 32 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H), vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

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