N-765 Präzisions-Hubtisch

NEXACT® Piezoschreitantrieb mit Sub-Nanometer-Encoderauflösung

N-765 Präzisions-Hubtisch
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  • Direkte Positionsmessung mit inkrementellem Encoder PIOne, 0,5 nm Auflösung
  • Kleinste Schrittweite 1 nm
  • Stellweg 6,5 mm
  • Belastbarkeit bis 25 N
  • Direkt montierbar auf N-565 Linearpositionierer

NEXACT® Lineartische der Referenzklasse

Lineartische mit NEXACT® PiezoWalk® Antrieben ermöglichen hochpräzise Positionierung im Nanometerbereich auf langen Stellwegen. Sie sind mit direktmessenden Linearencodern und Kreuzrollenlagern für höchste Genauigkeit ausgestattet.

PiezoWalk® Technologie: Hohe Auflösung und niedriger Verschleiß

Die PiezoWalk® Technologie kombiniert die technologischen Vorteile von Piezoaktoren mit denjenigen von Piezomotoren. PiezoWalk® Schreitantriebe bieten nicht nur eine Sub-Nanometer-Auflösung, hohe Kräfte und hohe Steifigkeiten, sondern ermöglichen theoretisch unbegrenzte Stellwege. PiezoWalk® Schreitantriebe sind anders als andere piezomotorische Antriebsprinzipien keinen Gleitreibungseffekten unterworfen. Sie basieren auf Haftreibungskontakten mehrerer Piezoaktoren, die auf einem Läufer schreiten. In Ruhe sind PiezoWalk® Schreitantriebe selbsthemmend, verbrauchen keine Energie und erzeugen keine Wärme.

Direkte Positionsmessung mit PIOne Linearencoder

Der hochauflösende PIOne Encoder wurde von PI entwickelt und erlaubt bei entsprechender Messauswertung eine Positionsauflösung von weit unter einem Nanometer. Durch die kleine Signalperiode und die hohe Qualität der Signale erreichen PIOne Encoder zudem eine Linearitätsabweichung von weniger als 1 %. PIOne Encoder unterstützen die Richtungserkennung bei der Auswertung eines Referenzsignals.

Kreuzrollenführung

Bei Kreuzrollenführungen wird der Punktkontakt der Kugeln in Kugelführungen durch den Linienkontakt gehärteter Rollen ersetzt. Sie sind dadurch wesentlich steifer und kommen mit geringerer Vorspannung aus, was die Reibung reduziert und einen gleichmäßigeren Lauf ermöglicht. Kreuzrollenführungen zeichnen sich darüber hinaus durch hohe Führungsgenauigkeit und Tragfähigkeit aus. Zwangsgesteuerte Wälzkörperkäfige verhindern Käfigwandern.

Einsatzgebiete

Probenmanipulation, Positionierung von Proben, Optiken oder mechanischen Komponenten mit hoher Präzision und Stabilität, Präzisionsmechanik in der Halbleiterindustrie, Mikromanipulation, Mikroskopie, Automatisierung, Anwendungen unter beengten Platzverhältnissen

Spezifikationen

Datenblatt N-765

Version / Datum
2018-07-03
Version / Datum
2018-07-03
Dokumentsprache
pdf - 737 KB
pdf - 745 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt N-765

Version / Datum
2018-07-03
Version / Datum
2018-07-03
Dokumentsprache
pdf - 737 KB
pdf - 745 KB

Dokumentation

Kurzanleitung MP137EK

N-524, N-565, N-765 NEXACT® Versteller
Version / Datum
2015-10-09
pdf - 803 KB

Benutzerhandbuch MP130

N-765 NEXACT® Versteller
Version / Datum
2016-08-10
Version / Datum
2016-08-10
Dokumentsprache
pdf - 1 MB
pdf - 2 MB

Angebot / Bestellung

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N-765.060
Präzisions-Hubtisch, 6,5 mm Stellweg, PIOne Linearencoder, 0,5 nm Auflösung, 25 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 65 × 110 × 56 mm (B × L × H), piezoelektrischer Schreitantrieb NEXACT®

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