N-565 Lineartisch mit höchster Präzision

NEXACT® Piezoschreitantrieb mit Sub-Nanometer-Encoderauflösung

N-565 Lineartisch mit höchster Präzision
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Ultrapräzise: 2 nm kleinste Schrittweite und direktmessender PIOne Encoder mit 0,5 nm Auflösung
  • Lange Stellwege: 13 mm, 26 mm oder 52 mm
  • Selbsthemmend im ausgeschalteten Zustand: Spart Energie und verringert die Wärmeentwicklung
  • Lange Lebensdauer und hohe Zuverlässigkeit durch PiezoWalk® Technologie
  • Kompakte Bauform: 65 mm Breite, 20 mm Höhe

NEXACT® Lineartische der Referenzklasse

Lineartische mit NEXACT® PiezoWalk® Antrieben ermöglichen hochpräzise Positionierung im Nanometerbereich auf langen Stellwegen. Sie sind mit direktmessenden Linearencodern und Kreuzrollenlagern für höchste Genauigkeit ausgestattet.

PiezoWalk® Technologie: Hohe Auflösung und niedriger Verschleiß

Die PiezoWalk® Technologie kombiniert die technologischen Vorteile von Piezoaktoren mit denjenigen von Piezomotoren. PiezoWalk® Schreitantriebe bieten nicht nur eine Sub-Nanometer-Auflösung, hohe Kräfte und hohe Steifigkeiten, sondern ermöglichen theoretisch unbegrenzte Stellwege. PiezoWalk® Schreitantriebe sind anders als andere piezomotorische Antriebsprinzipien keinen Gleitreibungseffekten unterworfen. Sie basieren auf Haftreibungskontakten mehrerer Piezoaktoren, die auf einem Läufer schreiten. In Ruhe sind PiezoWalk® Schreitantriebe selbsthemmend, verbrauchen keine Energie und erzeugen keine Wärme.

Direkte Positionsmessung mit PIOne Linearencoder

Der hochauflösende PIOne Encoder wurde von PI entwickelt und erlaubt bei entsprechender Messauswertung eine Positionsauflösung von weit unter einem Nanometer. Durch die kleine Signalperiode und die hohe Qualität der Signale erreichen PIOne Encoder zudem eine Linearitätsabweichung von weniger als 1 %. PIOne Encoder unterstützen die Richtungserkennung bei der Auswertung eines Referenzsignals.

Einsatzgebiete

Probenmanipulation, Positionierung von Proben, Optiken oder mechanischen Komponenten mit hoher Präzision und Stabilität, Präzisionsmechanik in der Halbleiterindustrie, Mikromanipulation, Mikroskopie, Automatisierung, Anwendungen unter beengten Platzverhältnissen, Anwendungen im Vakuum oder in nichtmagnetischen Umgebungen.

Spezifikationen

Datenblatt N-565

Version / Datum
2018-07-03
Version / Datum
2018-07-03
Version / Datum
2018-08-15
Dokumentsprache
pdf - 683 KB
pdf - 688 KB
pdf - 783 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt N-565

Version / Datum
2018-07-03
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2018-07-03
Version / Datum
2018-08-15
Dokumentsprache
pdf - 683 KB
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Dokumentation

Benutzerhandbuch MP148D110

N-565 NEXACT® Versteller
Version / Datum
2016-06-01
Version / Datum
2016-06-01
Dokumentsprache
pdf - 1 MB
pdf - 2 MB

Kurzanleitung MP137EK

N-524, N-565, N-765 NEXACT® Versteller
Version / Datum
2015-10-09
pdf - 803 KB

3-D-Modelle

N-565 3D-Modell

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N-565.160
Präzisions-Lineartisch, 13 mm Stellweg, PIOne Linearencoder, 0,5 nm Auflösung, 10 N Antriebskraft, Abmessungen 65 × 80 × 20 mm (B × L × H), piezoelektrischer Schreitantrieb NEXACT®
N-565.260
Präzisions-Lineartisch, 26 mm Stellweg, PIOne Linearencoder, 0,5 nm Auflösung, 10 N Antriebskraft, Abmessungen 65 × 110 × 20 mm (B × L × H), piezoelektrischer Schreitantrieb NEXACT®
N-565.360
Präzisions-Lineartisch, 52 mm Stellweg, PIOne Linearencoder, 0,5 nm Auflösung, 10 N Antriebskraft, Abmessungen 65 × 160 × 20 mm (B × L × H), piezoelektrischer Schreitantrieb NEXACT®