Q-522 Q-Motion® Miniatur Linearversteller

Piezomotoren für kleine Abmessungen, hohe Auflösung und günstigen Preis

Q-522 Q-Motion® Miniature Linear Stage with Incremental Encoder with up to 1 nm resolution (optional)
Nur 22 mm breit und 10 mm hoch
Direkte Positionsmessung mit inkrementellem Encoder mit bis zu 1 nm Auflösung (optional)
Bis zu 2 nm kleinste Schrittweite
XY-Montage ohne Adapter
Rotationsversteller Q-622 ohne Adapter montierbar
Geeignet für Vakuum bis 10-6 hPa, Versionen bis 10-9 hPa verfügbar

Mikrostelltisch der Präzisionsklasse

Q-Motion®-Versteller zeichnen sich durch extrem kleine Bauform und hohe Positionsauflösung im Nanometerbereich aus. Das piezomotrische Antriebsprinzip und dessen elektrische Ansteuerung ist preisgünstig und kann kundenspezifisch ausgelegt werden

PIShift Piezo-Trägheitsantriebe

Selbsthemmend im Ruhezustand, dadurch keine Wärmeentwicklung, kein Servozittern. Geschwindigkeit bis 10 mm/s. 1 N Haltekraft, 1 N Vortriebskraft

Direktes Messprinzip

Versionen mit berührungslos messendem optischen Linearencoder verfügbar. Auflösung versionsabhängig 4 nm oder 1 nm. Versionen mit Encoder besitzen einen Referenzschalter

Vakuum und nichtmagnetische Umgebung

Alle Q-Motion-Versteller sind für den Betrieb im Hochvakuum bis 10-6 hPa geeignet. Darüber hinaus sind Ultrahochvakuum-Varianten für 10-9hPa verfügbar. Auf Anfrage sind nichtmagnetische Versionen verfügbar

Einsatzgebiete

Industrie und Forschung. Für Messtechnik, Mikroskopie, Mikromanipulation, Biotechnologie und Automatisierung


Vorläufige Daten

Q-522.030

Q-522.040 / Q-522.04U

Q-522.130

Q-522.140 / Q-522.14U

Q-522.230

Q-522.240 / Q-522.24U

Q-522.x00 / Q-522.x0U

Einheit

Bewegung und Positionieren

6,5 mm Stellweg, Auflösung 4 nm

6,5 mm Stellweg, Auflösung 1 nm,

UHV-Version Q-522.04U

13 mm Stellweg, Auflösung 4 nm

13 mm Stellweg, Auflösung 1 nm,

UHV-Version Q-522.14U

26 mm Stellweg, Auflösung 4 nm

26 mm Stellweg, Auflösung 1 nm,

UHV-Version Q-522.24U

6,5 mm bis 26 mm Stellweg, ungeregelt, UHV-Versionen Q-522.x0U

Aktive Achse

X

X

X

X

X

X

X

Stellweg

6,5

6,5

13

13

26

26

6,5 bis 26

mm

Integrierter Sensor

Linearencoder

Linearencoder

Linearencoder

Linearencoder

Linearencoder

Linearencoder

-

Sensorauflösung

4

1

4

1

4

1

-

nm

Kleinste Schrittweite

8

2

8

2

8

2

-

nm

Unidirektionale Wiederholgenauigkeit über den kompletten Stellweg

25

25

25

25

30

30

-

nm

Bidirektionale Wiederholgenauigkeit über den kompletten Stellweg

40

40

40

40

50

50

-

nm

Unidirektionale Wiederholgenauigkeit über 100 µm Stellweg

12

12

12

12

12

12

-

Bidirektionale Wiederholgenauigkeit über 100 µm Stellweg

24

24

24

24

24

24

-

nm

Neigen / Gieren über den vollen Stellweg

100

100

100

100

100

100

100

µrad

Neigen / Gieren über 100 µm Stellweg

1

1

1

1

1

1

1

µrad

Maximale Geschwindigkeit*

10

10

10

10

10

10

10

mm/s


Mechanische Eigenschaften

Belastbarkeit

10

10

10

10

10

10

10

N

Druck- / Zugkraft

1

1

1

1

1

1

1

N

Länge

22

22

32

32

42

42

22 bis 42

mm

Breite

32

32

32

32

32

32

22

mm

Höhe

10

10

10

10

10

10

10

mm


Antriebseigenschaften

Motortyp

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Masse, inkl. Verkabelung

107

107

118

118

128

128

68 bis 88

g

Kabellänge

1

1

1

1

1

1

1

m

Stecker

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

Empfohlener Controller

E-871, E-873

E-871, E-873

E-871, E-873

E-871, E-873

E-871, E-873

E-871, E-873

E-870

* Typische Geschwindigkeit bei einer Ansteuerfrequenz von 20 kHz

Die Verstellerserie Q-522 ersetzt die Serie LPS-22.

Q-522.000
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 6,5 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 22 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb
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Q-522.00U
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 6,5 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 22 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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Q-522.030
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 6,5 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 22 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb
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Q-522.040
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 6,5 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 22 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb
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Q-522.04U
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 6,5 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 22 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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Q-522.100
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 13 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb
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Q-522.10U
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 13 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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Q-522.130
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 13 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb
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Q-522.140
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 13 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb
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Q-522.14U
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 13 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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Q-522.200
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 26 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb
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Q-522.20U
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 26 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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Q-522.230
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 26 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb
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Q-522.240
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 26 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- /Zugkraft, Abmessungen 32 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb
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Q-522.24U
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 26 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- /Zugkraft, Abmessungen 32 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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Sonderausführungen auf Anfrage.

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt Q-522

Q-Motion Miniatur Linearversteller Piezomotoren für kleine Abmessungen, hohe Auflösung und günstigen Preis
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Dokumentation

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Benutzerhandbuch MP134

Q-522 Q-Motion Miniatur-Linearversteller, piezoelektrischer Trägheitsantrieb
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Kurzanleitung MP139EK

Q-5xx, Q-6xx PIShift Versteller
Alle
pdf - 1 MB

3D Modelle

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Q-522 STEP

Alle
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