Q-521 Q-Motion® Miniatur Linearversteller

Kleinster Linearversteller mit Positionsregelung, hoher Auflösung und günstigem Preis

Nur 21 mm breit und 10 mm hoch
Direkte Positionsmessung mit integriertem inkrementellen Encoder, bis 1 nm Auflösung (optional)
Bis zu 1 nm Encoderauflösung
Bis zu 2 nm kleinste Schrittweite
XY-Montage ohne Adapter
Geschwindigkeit 10 mm/s
Geeignet für Vakuum bis 10-6 hPa, Versionen bis 10-9 hPa verfügbar

Mikrostelltisch der Präzisionsklasse

Q-Motion®-Versteller zeichnen sich durch extrem kleine Bauform und hohe Positionsauflösung im Nanometerbereich aus. Das piezomotrische Antriebsprinzip und dessen elektrische Ansteuerung ist preisgünstig und kann kundenspezifisch ausgelegt werden

PIShift Piezo-Trägheitsantriebe

Selbsthemmend im Ruhezustand, dadurch keine Wärmeentwicklung, kein Servozittern. Geschwindigkeit bis 10 mm/s. 1 N Haltekraft, 1 N Vortriebskraft

Direktes Messprinzip

Versionen mit berührungslos messendem optischen Linearencoder verfügbar. Auflösung versionsabhängig 4 nm oder 1 nm. Versionen mit Encoder besitzen einen Referenzschalter

Vakuum und nichtmagnetische Umgebung

Alle Q-Motion-Versteller sind für den Betrieb im Hochvakuum bis 10-6 hPa geeignet. Darüber hinaus sind Ultrahochvakuum-Varianten für 10-9 hPa verfügbar. Auf Anfrage sind nichtmagnetische Versionen verfügbar

Einsatzgebiete

Industrie und Forschung. Für Messtechnik, Mikroskopie, Mikromanipulation, Biotechnologie und Automatisierung


Vorläufige Daten

Q-521.130

Q-521.140 / Q-521.14U

Q-521.230

Q-521.240 / Q-521.24U

Q-521.330

Q-521.340 / Q-521.34U

Q-521.x00 / Q-521.x0U

Einheit

Bewegung und Positionieren

12 mm Stellweg, Auflösung 4 nm

12 mm Stellweg, Auflösung 1 nm,

UHV-Version Q-521.14U

22 mm Stellweg, Auflösung 4 nm

22 mm Stellweg, Auflösung 1 nm,

UHV-Version Q-521.24U

32 mm Stellweg, Auflösung 4 nm

32 mm Stellweg, Auflösung 1 nm,

UHV-Version Q-521.34U

12 mm bis 32 mm Stellweg, ungeregelt, UHV-Versionen Q-521.x0U

Aktive Achse

X

X

X

X

X

X

X

Stellweg

12

12

22

22

32

32

12 bis 32

mm

Integrierter Sensor

Linearencoder

Linearencoder

Linearencoder

Linearencoder

Linearencoder

Linearencoder

-

Sensorauflösung

4

1

4

1

4

1

-

nm

Kleinste Schrittweite

8

2

8

2

8

2

-

nm

Unidirektionale Wiederholgenauigkeit über den kompletten Stellweg

25

25

25

25

30

30

-

nm

Bidirektionale Wiederholgenauigkeit über den kompletten Stellweg

40

40

40

40

50

50

-

nm

Unidirektionale Wiederholgenauigkeit über 100 µm Stellweg

12

12

12

12

12

12

-

Bidirektionale Wiederholgenauigkeit über 100 µm Stellweg

24

24

24

24

24

24

-

nm

Neigen / Gieren über den vollen Stellweg

100

100

100

100

100

100

100

µrad

Neigen / Gieren über 100 µm Stellweg

1

1

1

1

1

1

1

µrad

Maximale Geschwindigkeit*

10

10

10

10

10

10

10

mm/s


Mechanische Eigenschaften

Belastbarkeit

10

10

10

10

10

10

10

N

Haltekraft, unbestromt

1,3

1,3

1,3

1,3

1,3

1,3

1,3

N

Druck- / Zugkraft

1

1

1

1

1

1

1

N

Länge

30

30

32,2

32,2

42,2

42,2

30 bis 42,2

mm

Breite

21

21

21

21

21

21

21

mm

Höhe

10

10

10

10

10

10

10

mm


Antriebseigenschaften

Motortyp

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Kabellänge

1

1

1

1

1

1

1

m

Stecker

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

Empfohlener Controller

E-871, E-873

E-871, E-873

E-871, E-873

E-871, E-873

E-871, E-873

E-871, E-873

E-870

* Typische Geschwindigkeit bei einer Ansteuerfrequenz von 20 kHz

Zeichnungen / Bilder

PI Q-521.140
PI Q-521.240
PI Q-521.340
Q-521.100
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 12 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
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Q-521.130
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 12 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
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Q-521.140
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 12 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
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Q-521.14U
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 12 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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Q-521.200
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 22 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
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Q-521.230
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 22 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
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Q-521.240
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 22 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- /Zugkraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
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Q-521.24U
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 22 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- /Zugkraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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Q-521.300
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 32 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
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Q-521.330
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 32 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
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Q-521.340
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 32 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- /Zugkraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
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Q-521.34U
Q-Motion® Miniatur-Linearversteller, 32 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- /Zugkraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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Sonderausführungen auf Anfrage.

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt Q-521

Q-Motion Miniatur Linearversteller, kleinster Linearversteller mit Positionsregelung, hoher Auflösung und günstigem Preis
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Dokumentation

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Benutzerhandbuch MP145

Q-521 Q-Motion Miniatur-Linearversteller, piezoelektrischer Trägheitsantrieb
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