M-511-HD1 Nanogenauer Hochlast-Versteller

DC / Piezo-Präzisions-Hybridversteller für hohe Geschwindigkeit mit 0,5 nm Auflösung

Gemeinsamer Regelkreis für DC-Motor und Piezoaktor
Stellweg bis 100 mm
Höchstgeschwindigkeit 50 mm/s
Wiederholgenauigkeit im Nanometerbereich
Direktmetrologie: Linearencoder mit 0,5 nm Auflösung
Nanometergenaues Einschwingen auf die Position binnen weniger ms
Spielfreie Kugelumlaufspindel und reibungsfreier Piezoantrieb
Aktive Kompensation des Umkehrspiels und von Stick- / Slip-Effekten beim Anfahren
Hohe Geschwindigkeitskonstanz


M-511.HD1

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X


Bewegung und Positionieren

Stellweg

100

mm

Integrierter Sensor

Linearencoder

Sensorauflösung

0,5

nm

Rechnerische Auflösung

0,5

nm

Kleinste Schrittweite

2

nm

typ.

Hysterese auf Plattformebene

10

nm

typ.

Unidirektionale Wiederholgenauigkeit

10

nm

typ.

Bidirektionale Wiederholgenauigkeit

20

nm

typ.

Neigen / Gieren

±25

µrad

Geradheit

1

µm

Ebenheit

1

µm

Geschwindigkeit

50

mm/s

max.

Referenzschalter Wiederholgenauigkeit

1

µm


Mechanische Eigenschaften

Spindel

Kugelumlaufspindel

Führung

Präzisionslager, Kugelumlaufschuhe

Belastbarkeit

200

N

max.

Druck- / Zugkraft

80 / 80

N

max.

Querkraft

200

N

max.


Antriebseigenschaften

Antriebstyp

Hybrid-Antrieb: DC-Motor mit Piezoaktor

Motortyp

DC-Motor

Betriebsspannung Motor

24

V

Motorleistung

30

W

Spindelsteigung

2

mm

Piezoantrieb

PICMA® Multilayer- Piezoaktor mit Festkörpergelenken

Piezospannung

±36

V

Referenz u. Endschalter

Hall-Effekt


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

20 bis 50

°C

Material

Aluminium eloxiert

Masse

5,1

kg

Empfohlene Controller / Treiber

C-702 Hybrid-Motorcontroller

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

M-511.HD, Abmessungen in mm, D-Sub-Stecker 26-pin, 3-m-Kabel
PI M-511.HD1 2nm-Schritte

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt M-511.HD1

Nanogenauer Hochlast- Versteller, DC / Piezo- Präzisions- Hybridversteller für hohe Geschwindigkeit mit 0,5 nm Auflösung
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Dokumentation

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Benutzerhandbuch M-511.HD1

M-511.HD Ultra-High-Resulotion Positioning Stage with Hybrid Drive
1.0.0
Englisch
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pdf

Technical Note M511T0015

Nanogenauer Hochlast-Versteller
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Englisch
pdf - 330 KB

3D Modelle

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M-511.HD1 STEP

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Englisch
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