M-511.HD1 Nanogenauer Hochlast-Versteller

DC / Piezo-Präzisions-Hybridversteller für hohe Geschwindigkeit mit 0,5 nm Auflösung

Gemeinsamer Regelkreis für DC-Motor und Piezoaktor
Stellweg bis 100 mm
Höchstgeschwindigkeit 50 mm/s
Wiederholgenauigkeit im Nanometerbereich
Direktmetrologie: Linearencoder mit 0,5 nm Auflösung
Nanometergenaues Einschwingen auf die Position binnen weniger ms
Spielfreie Kugelumlaufspindel und reibungsfreier Piezoantrieb
Aktive Kompensation des Umkehrspiels und von Stick- / Slip-Effekten beim Anfahren
Hohe Geschwindigkeitskonstanz

Linearstelltisch der Referenzklasse

Hohe Ablaufgenauigkeit und Belastbarkeit durch Präzisionslinearführungen mit vorgespannten Kugelumlaufschuhen. Spielfrei vorgespannte Kugelumlaufspindel mit 2 mm Steigung. Grundprofil aus entspanntem Aluminium für hohe Stabilität.

Antrieb und Positionsmessung

Der hybride Direktantrieb garantiert hohe Geschwindigkeitskonstanz und vermeidet Stick-Slip-Effekte beim Anfahren. Der DC-Motor mit integrierten ActiveDrive-Verstärkern sorgt für hohe Geschwindigkeit. Spindelantrieb und Piezoaktor befinden sich in einem gemeinsamen Regelkreis mit einem direkt messenden Linearencoder, der für eine hohe Positionsauflösung und Wiederholgenauigkeit sorgt.

Der M-511.HD1 verfügt über kontaktlose Endschalter und zusätzlich über einen kontaktlosen Referenzschalter in der Mitte des Stellwegs.

Einsatzgebiete

Metrologie, Interferometrie, Oberflächeninspektion

Spezifikationen

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PI Datenblatt M-511.HD1

Nanogenauer Hochlast- Versteller, DC / Piezo- Präzisions- Hybridversteller für hohe Geschwindigkeit mit 0,5 nm Auflösung
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Zeichnungen / Bilder

M-511.HD, Abmessungen in mm, D-Sub-Stecker 26-pin, 3-m-Kabel
PI M-511.HD1 2nm-Schritte

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt M-511.HD1

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Dokumentation

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Kurzanleitung MP119EK

M-06x, M-11x, M-12x, M-4xx, M-5xx Versteller mit Elektromotoren
2.1.0
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Benutzerhandbuch M-511.HD1

M-511.HD Ultra-High-Resulotion Positioning Stage with Hybrid Drive
1.0.0
Englisch
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Technical Note M511T0015

Nanogenauer Hochlast-Versteller
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Englisch
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3D Modelle

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M-511.HD1 STEP

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