M-511 • M-521 • M-531 Hochpräzisions-Linearversteller

Hohe Ablaufgenauigkeit, große Stellwege, viele Motorvarianten

Stellwege 102, 204 und 306 mm (4”, 8”, 12”)
Höchstgeschwindigkeit bis 100 mm/s
Encoderauflösung 20 nm
Belastbarkeit bis 100 kg
Spielfreie Kugelumlaufspindeln

Linearstelltisch der Referenzklasse

Hohe Ablaufgenauigkeit und Belastbarkeit durch Präzisionslinearführungen mit vorgespannten Kugelumlaufschuhen. Spielfrei vorgespannte Kugelumlaufspindel mit 2 mm Steigung. Grundprofil aus entspanntem Aluminium für hohe Stabilität.

XY und XYZ Kombinationen mit M-501/M-451 Präzisionshubtischen möglich. Vakuumversionen

 

Antriebsarten und Positionsmessung

M-5x1.DD1: Direktantrieb. DC-Motor mit integrierten ActiveDrive Verstärkern für hohe Geschwindigkeit kombiniert mit direktmessendem Linearencoder für hohe Auflösung und Wiederholgenauigkeit

M-5x1.DD2: Version mit integrierter Bremse

 

Direktantrieb. DC-Motor für hohe Geschwindigkeit kombiniert mit Präzisions-Rotationsencoder

M-5x1.EC: Bürstenloser DC-Motor mit integrierter Blockkommutierung

M-5x1.PD1: DC-Motor mit integrierten ActiveDrive Verstärkern

 

DC-Servomotor mit Getriebe kombiniert mit Präzisions-Rotationsencoder für hohe Auflösung und Wiederholgenauigkeit

M-5x1.DG1: DC-Motor mit direkter Ansteuerung (analog)

M-5x1.PG1: DC-Motor mit integrierten ActiveDrive Verstärkern

 

M-5x1.2S1: Schrittmotor

 

Kontaktlose Endschalter. Kontaktlose Referenzschalter in der Mitte des Stellwegs

 

Einsatzgebiete

Industrie und Forschung. Vakuumumgebung bis 10-6 hPa. Inspektion, MEMS Fertigung

 


M-5x1.DD1

M-5x1.DD2

M-5x1.EC

M-5x1.PD1

M-5x1.DG1

M-5x1.PG1

M-5x1.2S1

Einheit

Toleranz

Bewegung und Positionieren

Stellweg

M-511: 102 (4‘‘) / M-521: 204 (8‘‘) / M-531: 306 (12‘‘)

mm

       

Integrierter Sensor

Linearencoder

Rotationsencoder

Rotationsencoder

Rotationsencoder

-

Sensorauflösung

0,02 µm

4000

4000

2048

-

Imp./U

Rechnerische Auflösung

0,02

0,5

0,5

0,033

0,31

µm

typ.

Kleinste Schrittweite

0,1

0,5

0,5

0,1

0,1

µm

typ.

Unidirektionale Wiederholgenauigkeit

0,1

0,5

0,5

0,2

0,2

µm

typ.

Umkehrspiel

±0,2*

1

1

1

1

µm

typ.

Neigen / Gieren

±25 / ±35 / ±35

µrad

       

Geradheit / Ebenheit pro 100 mm

1

1

1

1

1

µm

Geschwindigkeit

50

100

100

6

20

mm/s

max.


Mechanische Eigenschaften

Gewindesteigung Kugelumlaufspindel

2

2

2

2

2

mm

Getriebeuntersetzung

-

-

-

(28/12)4 ~ 29,6:1

-

Belastbarkeit

1000

N

max.

       

Druck- / Zugkraft

80

N

max.

       

Zulässige Querkraft

200

N

max.

       

Antriebseigenschaften

 

 

 

 

 

 

 

Motortyp

DC-Motor mit PWM-Ansteuerung

Bürstenloser DC-Motor mit PWM-Ansteuerung

DC-Motor mit PWM-Ansteuerung

DC-Getriebemotor

2-Phasen-Schrittmotor**

 

 

Motorauflösung

-

-

-

-

6400**

Schritte/U

 

Führung

Präzisionslager, Kugelumlaufschuhe

       

Betriebsspannung

24 (PWM)

24 (PWM)

24 (PWM)

M-5x1.DG1: 0 bis ±12

M-5x1.PG1: 24 (PWM)

24

V

 

Motorleistung

30

60

30

3

5

W

nominal

Drehmoment

80

70

70

5

150

mNm

nominal

Referenz- und Endschalter

Hall-Effekt

Hall-Effekt

Hall-Effekt

Hall-Effekt

Hall-Effekt

 

 


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 65

-20 bis 65

-20 bis 65

-20 bis 65

-20 bis 65

° C

Material

Aluminium, schwarz eloxiert

       

Masse

5 (M-511) / 6,1 (M-521) / 7,2 (M-531)

kg

±5 %

       

Stecker

D-Sub 15-pol., 3 m Kabel inkl.

       

Empfohlene Controller

C-863

C-863

C-863

C-863

C-663

*Bidirektionale Wiederholgenauigkeit für Versionen mit Linearencoder

**Max. 0,85 A/Phase; 400 Vollschritte/U. Motorauflösung mit Schrittmotorsteuerung C-663

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

M-511, M-521, M-531, Abmessungen in mm

M-511.DD1
Mikrostelltisch, 102 mm, DC-Motor, PWM-Ansteuerung, Linearencoder
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M-511.DD2
Mikrostelltisch, 102 mm, DC-Motor, PWM-Ansteuerung, Linearencoder, Motorbremse
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M-511.PD1
Mikrostelltisch, 102 mm, DC-Motor, PWM-Ansteuerung, Rotationsencoder
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M-511.EC
Mikrostelltisch, 102 mm, bürstenloser DC-Motor, Rotationsencoder
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M-511.DG1
Mikrostelltisch, 102 mm, DC-Getriebemotor, Rotationsencoder
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M-511.PG1
Mikrostelltisch, 102 mm, DC-Getriebemotor, PWM-Ansteuerung, Rotationsencoder
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M-511.2S1
Mikrostelltisch, 102 mm, Schrittmotor
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M-521.DD1
Mikrostelltisch, 204 mm, DC-Motor, PWM-Ansteuerung, Linearencoder
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M-521.DD2
Mikrostelltisch, 204 mm, DC-Motor, PWM-Ansteuerung, Linearencoder, Motorbremse
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M-521.PD1
Mikrostelltisch, 204 mm, DC-Motor, PWM-Ansteuerung, Rotationsencoder
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M-521.EC
Mikrostelltisch, 204 mm, bürstenloser DC-Motor, Rotationsencoder
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M-521.DG1
Mikrostelltisch, 204 mm, DC-Getriebemotor, Rotationsencoder
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M-521.PG1
Mikrostelltisch, 204 mm, DC-Getriebemotor, PWM-Ansteuerung, Rotationsencoder
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M-521.2S1
Mikrostelltisch, 204 mm, Schrittmotor
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M-531.DD1
Mikrostelltisch, 306 mm, DC-Motor, PWM-Ansteuerung, Linearencoder
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M-531.DD2
Mikrostelltisch, 306 mm, DC-Motor, PWM-Ansteuerung, Linearencoder, Motorbremse
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M-531.PD1
Mikrostelltisch, 306 mm, DC-Motor, PWM-Ansteuerung, Rotationsencoder
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M-531.EC
Mikrostelltisch, 306 mm, bürstenloser DC-Motor, Rotationsencoder
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M-531.DG1
Mikrostelltisch, 306 mm, DC-Getriebemotor, Rotationsencoder
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M-531.PG1
Mikrostelltisch, 306 mm, DC-Getriebemotor, PWM-Ansteuerung, Rotationsencoder
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M-531.2S1
Mikrostelltisch, 306 mm, Schrittmotor
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Adapterplatten, -winkel und Zubehör ##704600

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Datenblatt

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PI Datenblatt M-511 • M-521 • M-531

Hochpräzisions-Linearversteller hohe Ablaufgenauigkeit, große Stellwege, viele Motorvarianten
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Dokumentation

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Benutzhandbuch MP113

M-511, M-521, M-531 Mikrostelltische
1.0.0
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PI Montageadapter für Gewindenormraster

Übersicht über alle Kombinationsmöglichkeiten von Linear-, Dreh- und Kipptischen
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3D Modelle

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M-511 STEP

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Englisch
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M-521 STEP

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Englisch
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M-531 STEP

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Englisch
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