V-522 • V-524 • V-528 Hochdynamischer PIMag® Lineartisch

Voice-Coil-Direktantrieb mit direkter Positionsmessung

Schnelles Scannen und Positionieren
Stellwege 5 mm, 10 mm, 20 mm
Scanfrequenz von über 10 Hz
Höchstgeschwindigkeit 250 mm/s
Kreuzrollenlager für höchste Präzision

Linearversteller der Referenzklasse

Linearversteller mit magnetischen Direktantrieben verzichten weitgehend auf mechanische Komponenten im Antriebsstrang, die Antriebskraft wirkt direkt auf die bewegte Plattform. Zusammen mit den Präzisionslagern werden eine hohe Ablaufgenauigkeit und lange Lebensdauer erreicht. Die Linearversteller eignen sich damit besonders gut für Scanning-Anwendungen.

PIMag® Voice-Coil

Voice-Coil-Antriebe bestehen aus 2 wesentlichen Komponenten: einem Dauermagneten und einer Spule, die sich im Luftspalt des Magnetfeldes befindet. Fließt ein Strom durch die Spule, so bewegt sich die Spule im Magnetfeld des Dauermagneten. Die Bewegungsrichtung ist abhängig von der Polarität. Voice-Coil-Antriebe eignen sich durch ihr geringes Gewicht und das reibungsfreie Antriebsprinzip sehr gut für Anwendungen, die hohe Dynamik und hohe Geschwindigkeiten bei begrenzten Stellwegen erfordern. Hohe Scanfrequenzen und präzise Positionierung sind mit diesen Antrieben ebenfalls möglich, da sie frei von Hystereseeffekten sind.

Kreuzrollenlager

Bei Kreuzrollenlagern wird der Punktkontakt der Kugeln in Kugellagern durch den Linienkontakt gehärteter Rollen ersetzt. Sie sind dadurch wesentlich steifer und kommen mit geringerer Vorspannung aus, was die Reibung reduziert und einen gleichmäßigeren Lauf ermöglicht. Kreuzrollenlager zeichnen sich darüber hinaus durch hohe Führungsgenauigkeit und Tragfähigkeit aus. Zwangsgesteuerte Wälzkörperkäfige verhindern ein Auswandern der Wälzlager.

Direkte Positionsmessung mit inkrementellem Encoder

Kontaktlose optische Encoder messen die Ist-Position mit höchster Genauigkeit direkt an der bewegten Plattform, so dass Nichtlinearität, mechanisches Spiel oder elastische Deformation keinen Einfluss auf die Positionsmessung haben.

Einsatzgebiete

Industrie und Forschung. Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder Flachbildschirm-Herstellung

Vorläufige Daten

V-522.1AAV-522.1ABV-524.1AAV-524.1ABV-528.1AAV-528.1AB Einheit Toleranz

Bewegung und Positionieren

Aktive Achsen

X

Stellweg

V-522.x: 5V-524.x: 10V-528.x: 20

mm

Integrierter Sensor

Optisch, inkrementell

Sensorauflösung

10

nm

Kleinste Schrittweite

20

nm

typ.

Unidirektionale Wiederholgenauigkeit

20

nm

Bidirektionale Wiederholgenauigkeit

±120

nm

max.

Referenzschalter Wiederholgenauigkeit

<1

µm

Neigen

±50

µrad

max.

Gieren

±50

µrad

max.

Geradheit

0,5

µm

max.

Ebenheit

0,5

µm

max.

Geschwindigkeit

250

mm/s

max.


Mechanische Eigenschaften

Belastbarkeit in z

100

N

max.

Bewegte Masse

V-522.x: 131V-524.x: 137V-528.x: 150

g

Gesamtmasse

V-522.x: 460V-524.x: 500V-528.x: 580

g


Antriebseigenschaften

Antriebstyp

Voice-Coil

Nennkraft

4,3

N

nominal

Nennstrom

1,3

A

nominal

Spitzenstrom

3

A

max. (3s)

Kraftkonstante

3,4

N/A

typ.

Motorkonstante

1,5

N/(√W)

typ.

Spulenwiderstand

7,2

Ω

typ.

Spuleninduktivität

1,7

mH

typ.

Zeitkonstante

0,32

ms


Umgebung

Gehäusematerial

AL

Kabellänge

2

m

±10 mm

Kabelabgang

V-52x.1AA: Kabelabgang in XV-52x.1AB: Kabelabgang in Y

Spannungs- / Sensorverbindung

D-Sub 15-pin (m)

Lebensdauer

20000

km

Betriebstemperaturbereich

18-45

°C

Relative Luftfeuchtigkeit während des Betriebs

20 bis 80

%

Sonderausführungen auf Anfrage.

V-522.1AA
PIMag® Voice-Coil-Lineartisch, Direktantrieb, Geschwindigkeit 250 mm/s, Direkte Positionsmessung mit inkrementellem Encoder, 5 mm Stellweg, Kabelabgang in Bewegungsrichtung
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V-524.1AB
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V-528.1AB
PIMag® Voice-Coil-Lineartisch, Direktantrieb, Geschwindigkeit 250 mm/s, Direkte Positionsmessung mit inkrementellem Encoder, 20 mm Stellweg, Kabelabgang orthogonal zur Bewegungsrichtung
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Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt V-522 • V-524 • V-528

Voice-Coil-Direktantrieb mit direkter Positionsmessung
2016-04-08 R1
pdf - 1 MB
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Dokumentation

pdf

Technical Note V522T0002

PIMag® Voice Coil Lineartische für 5 mm / 10 mm / 20 mm Stellweg
2016-04-06
Englisch
pdf - 897 KB