A-121 PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager

Hochleistungs-Nanopositioniertisch mit kleiner Bauform

A-121 PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung
  • Reinraumtauglich
  • Größe der Bewegungsplattform 115 mm × 115 mm
  • Stellwege bis 350 mm
  • Niedrige Bauhöhe von 60 mm
  • Auflösung bis 1 nm

Produktübersicht

Die Tische der PIglide Serie verfügen über einen Servo-Linearmotorantrieb mit vorgespannten Luftlagern und integriertem optischen Linearencoder. Die Kombination dieser berührungslosen Baugruppen ergibt eine reibungslose Bewegungsplattform, die die höchste Leistung, Qualität und Lebensdauer bietet.

Ein Hochleistungslinearmotor kann den Tisch zur Höchstgeschwindigkeit innerhalb weniger Millisekunden fahren. Die vorgespannte, luftgelagerte Konstruktion unterstützt eine Montage in jeder beliebigen Orientierung.

Zubehör und Optionen

Encoder

PIglide Filter und Druckregler

Mehrachsige Motion Controller und Direktantriebe

XY-Aufbauten und individuelle Konfigurationen

Schleppkettenvarianten

Gegengewichtoptionen für vertikale Montage

Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung

Einsatzgebiete

PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.

Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.

Spezifikationen

Datenblatt A-121

Version / Datum
2017-08-09
Version / Datum
2017-08-09
Version / Datum
2017-10-24
Dokumentsprache
pdf - 976 KB
pdf - 984 KB
pdf - 1 MB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt A-121

Version / Datum
2017-08-09
Version / Datum
2017-08-09
Version / Datum
2017-10-24
Dokumentsprache
pdf - 976 KB
pdf - 984 KB
pdf - 1 MB

Dokumentation

Benutzerhandbuch A121D0001

A-121 PIglide AT1 Motorisierter Linearversteller mit Luftlagermodul und Encoder
Version / Datum
2016-12-02
Dokumentsprache Englisch
pdf - 1 MB

Angebot / Bestellung

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50 mm Stellweg

100 mm Stellweg

150 mm Stellweg

200 mm Stellweg

250 mm Stellweg

350 mm Stellweg

Alternative Encoderauflösungen auf Anfrage verfügbar.

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