A-121 PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager

Hochleistungs-Nanopositioniertisch mit kleiner Bauform

A-121 PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung
  • Reinraumtauglich
  • Größe der Bewegungsplattform 115 mm × 115 mm
  • Stellwege bis 350 mm
  • Niedrige Bauhöhe von 60 mm
  • Auflösung bis 1 nm

Produktübersicht

Die Tische der PIglide Serie verfügen über einen Servo-Linearmotorantrieb mit vorgespannten Luftlagern und integriertem optischen Linearencoder. Die Kombination dieser berührungslosen Baugruppen ergibt eine reibungslose Bewegungsplattform, die die höchste Leistung, Qualität und Lebensdauer bietet.

Ein Hochleistungslinearmotor kann den Tisch zur Höchstgeschwindigkeit innerhalb weniger Millisekunden fahren. Die vorgespannte, luftgelagerte Konstruktion unterstützt eine Montage in jeder beliebigen Orientierung.

Zubehör und Optionen

  • Encoder
  • PIglide Filter und Druckregler
  • Mehrachsige Motion Controller und Direktantriebe
  • XY-Aufbauten und individuelle Konfigurationen
  • Schleppkettenvarianten
  • Gegengewichtoptionen für vertikale Montage
  • Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung

Einsatzgebiete

PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.

Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.

Spezifikationen

Datenblatt A-121

Version / Datum
2018-07-27
Version / Datum
2018-07-27
Version / Datum
2018-08-16
Dokumentsprache
pdf - 657 KB
pdf - 667 KB
pdf - 775 KB

Downloads

Produktmitteilung

Product Change Notification A-xxx.*C1

Version / Datum
2018-08-02
Dokumentsprache Englisch
pdf - 71 KB

Datenblatt

Datenblatt A-121

Version / Datum
2018-07-27
Version / Datum
2018-07-27
Version / Datum
2018-08-16
Dokumentsprache
pdf - 657 KB
pdf - 667 KB
pdf - 775 KB

Dokumentation

Benutzerhandbuch A121D0001

A-121 PIglide AT1 Motorisierter Linearversteller mit Luftlagermodul und Encoder
Version / Datum
2016-12-02
Dokumentsprache Englisch
pdf - 1 MB

Angebot / Bestellung

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A-121.050A1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 50 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.050B1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 50 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.100A1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 100 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.100B1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 100 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.150A1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 150 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.150B1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 150 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.200A1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 200 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.200B1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 200 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.250A1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 250 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.250B1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 250 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.350A1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 350 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-121.350B1
PIglide AT1 Lineartisch, Luftlager, 350 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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