P-915KVPZ Vakuumkompatibler Piezo-Z-Tisch

Präzision für hohe Lasten, mit großer Apertur

P-915KVPZ Vakuumkompatibler Piezo-Z-Tisch
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads
  • Stellweg 45 µm
  • Große freie Apertur 273 mm × 273 mm
  • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
  • Direktantrieb für höchste Steifigkeit und Dynamik
  • Vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Spezifikationen

Datenblatt P-915KVPZ

Version / Datum
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Datenblatt

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