P-733.Z Hochdynamischer Z-Nanopositioniertisch

Direkte Positionsmessung und Apertur

  • Stellweg 100 µm
  • Direkte Positionsmessung mit kapazitiven Sensoren
  • Auflösung bis 0,3 nm, geregelt
  • Freie Apertur 50 mm × 50 mm
  • Weitere Versionen mit zusätzlichen Freiheitsgraden erhältlich
  • XY- und XYZ-Versionen verfügbar
  • Vakuumkompatible Versionen auf Anfrage
P-733.Z Hochdynamischer Z-Nanopositioniertisch
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Einsatzgebiete

  • Scanning-Mikroskopie
  • Konfokale Mikroskopie
  • Masken- / Waferpositionierung
  • Oberflächenmesstechnik
  • Nanoimprint
  • Mikromanipulation
  • Bildverarbeitung / -stabilisierung
  • Nanopositionierung mit hoher Ebenheit und Geradheit der Bewegung

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt P-733.Z

Version / Datum
2023-12-11
pdf - 789 KB
Version / Datum
2023-12-11
pdf - 794 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt P-733.Z

Version / Datum
2023-12-11
pdf - 789 KB
Version / Datum
2023-12-11
pdf - 794 KB

Dokumentation

Dokumentation

Kurzanleitung PZ240

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum
6.2.0 03/2024
pdf - 561 KB
Version / Datum
6.2.0 03/2024
pdf - 595 KB
Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ103

P-733, P-734 Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren

Version / Datum
1.1.0 2020-10-26
pdf - 2 MB
Version / Datum
1.1.0 2020-10-26
pdf - 2 MB

3-D-Modelle

3-D-Modelle

P-733.Z 3D Modell

zip - 370 KB

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