Lineartische mit Piezoantrieb und Festkörperführung

Hochpräzise Nanopositionierer und Scanner für Stellwege bis 1,5 mm

Piezoaktorische Linearversteller von PI vereinen nanometergenaue Auflösung und Führungspräzision mit minimalem Übersprechen. Daher sind sie besonders geeignet für Referenzanwendungen in der Messtechnik, für mikroskopische Verfahren, für die Interferometrie oder in Inspektionssystemen für die Halbleiterchip-Herstellung.

Lineartische mit Piezoantrieb

Positioniersystem, basierend auf piezoelektrischen Aktoren mit einem Stellweg von 250 µm und einer Wiederholgenauigkeit um 1 nm.
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P-620.1 – P-629.1 PIHera Linearer Präzisionspositionierer

Variabel in Stellweg und Achskonfiguration

  • Stellwege 50 bis 1800 µm
  • Auflösung bis 0,1 nm
  • Positioniergenauigkeit 0,02%
  • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
  • X-, XY-, Z-, XYZ-Versionen
PI P-611.1
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P-611.1 Lineares Piezopositioniersystem

Kompaktes und preisgünstiges Linearsystem

  • Kompakte Bauform: Grundfläche 44 mm × 44 mm
  • Stellweg 120 µm
  • Auflösung bis 0,2 nm
  • Besonders kostengünstige Systeme
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • Auch als Hubtisch, XY-, XZ- und XYZ-Version erhältlich
PI P-630
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P-630 Hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem

1 Achse mit großer Apertur

  • Resonanzfrequenz bis 3,25 kHz
  • Stellwege bis 80 µm
  • Schmale und flache Bauform
  • Apertur mit 30 mm Durchmesser
PI P-712
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P-712 Linearer Piezoscanner

Kompaktes OEM System

  • Hohe Dynamik, bis 5 ms Einschwingzeit
  • Stellweg bis zu 40 µm
  • Auflösung bis 0,2 nm
  • Kompakte Bauform mit niedrigem Profil, 40 mm × 40 mm × 6 mm
  • Freie Apertur 25 mm × 15 mm
  • PICMA® Hochleistungsaktoren
PI P-753
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P-753 LISA Linearaktor und Positioniertisch

Dynamisch und positionsstabil

  • Geführter Stelltisch und Aktor zugleich
  • Stellweg bis 38 µm
  • Auflösung 0,05 nm
  • Besonders schnelles Ansprechverhalten durch Direktantrieb
  • Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
PI P-752
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P-752 Hochpräziser Nanopositioniertisch

Hochdynamischer und stabiler Piezoscanner mit extremer Führungsgenauigkeit

  • Auflösung 0,1 nm
  • Schnelles Ansprechverhalten
  • Stellweg bis 35 µm
  • Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
  • Reibungsfreie Festkörperführungen für sehr hohe Ablaufgenauigkeit
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
PI P-750
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P-750 Piezo-Nanopositioniersystem

Hochlast-Nanopositioniersysteme mit Piezoantrieb und Direktmetrologie

  • Führungsgenauigkeit 1 nm
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Belastbarkeit bis 10 kg
  • Auflösung <1 nm
  • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren für höchste Genauigkeit
  • Kurze Ansprechzeit durch Direktantrieb
  • Stellweg 75 µm
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
PI P-853
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P-853 • P-854 Piezoelektrische Mikrometerschraube

Integrierter Piezoantrieb mit Sub-nm-Auflösung

  • Stellwege bis 18 mm
  • Piezo-Feinstellweg bis 25 µm
  • Sub-nm-Auflösung
  • Dynamischer Betrieb bis 10 Hz
  • Ersetzt manuelle Mikrometerschrauben
PI P-855.20
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P-855 Piezofeinantrieb für Mikrometerschrauben

Hochauflösender Piezoantrieb für Mikrometerschrauben

  • Stellweg 20 µm
  • Für Montage in Mikrometerschrauben
  • Sub-ms-Ansprechzeit
  • Sub-nm-Auflösung

PIFOC® Oblektivpositionierer und -Scanner

PI P-725.4SL
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P-725 PIFOC® Objektivscanner mit langem Stellweg

Hochpräziser Positionierer und Scanner für Mikroskopobjektive

  • Stellwege bis 460 µm
  • Wesentlich schnelleres Ansprechen und höhere Lebensdauer als motorische Antriebe
  • Feinpositionierung von Objektiven mit Sub-nm-Auflösung
  • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren: höchste Linearität
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen für bessere Fokusstabilität
  • Kompatibel mit MetaMorph Imaging-Software
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • QuickLock-Gewindeadapter für einfache Installation
  • Freie Apertur bis zu Ø 29 mm
PI P-725.CDD
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P-725.xDD PIFOC® Hochdynamischer Scanner

Nanopositionier- und Scansystem für Mikroskopobjektive

  • Kürzeste Einschwingzeit unter 5 ms mit Mikroskopobjektiv
  • Stellweg 18 µm
  • Feinpositionierung von Objektiven mit Sub-nm Auflösung
  • Minimaler Objektivversatz durch Parallelflexureführung
  • Höchste Linearität durch Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
  • Preisgünstige Version mit DMS-Sensoren
  • Kompatibel mit Metamorph™ Imaging-Software
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • QuickLock-Adapter für einfache Installation
PI P-725KHDS
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P-725KHDS PIFOC® Objektivscanner mit hoher Dynamik

Nanometer-Auflösung für schwere Objektive

  • Stellweg 400 µm
  • Resonanzfrequenz 120 Hz mit 400 g Last
  • Einschwingzeit 20 ms mit 400 g Last
  • QuickLock-Gewindeadapter bis M32
PI PD72Z2
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PD72Z2x/4x PIFOC® Objektivscansystem 400 µm

Hochdynamischer Piezoantrieb für Sub-Nanometer-Auflösung

  • Komplettes System mit Digitalcontroller, Software und Gewindeadapter
  • Stellwege bis 400 µm
  • Feinpositionierung von Objektiven mit Sub-nm-Auflösung
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
PI P-726
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P-726 PIFOC® Hochlast Objektivscanner

Hochdynamisches Scansystem mit großem Stellweg für schwere Objektive

  • Hochdynamisches Positionieren und Scannen für große Objektive
  • Resonanzfrequenz 1120 Hz, 560 Hz mit 210 g Objektivmasse
  • Typ. Einschwingzeit um 6 ms
  • Stellweg 100 µm
  • Höchste Linearität, Stabilität und Regeldynamik durch direkt messende kapazitive Sensoren
  • Auflösung bis 0,3 nm
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen für bessere Fokusstabilität
PI P-720
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P-720 PIFOC® – Hochdynamische Piezo-Nanofokussierer

Kompakter Scanner mit hoher Dynamik für kleine Objektive

  • Stellweg 100 µm
  • Schnelles Ansprechverhalten
  • Schnelles Einschwingverhalten
  • Feinpositionierung von Objektiven mit Sub-Nanometer-Auflösung
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
PI P-721
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P-721 PIFOC® Hochpräziser Objektivscanner

Schneller Nanopositionierer und -Scanner für Mikroskopobjektive

  • Feinpositionierung von Objektiven mit Sub-Nanometer-Auflösung
  • Stellwege bis 140 µm, Millisekunden Einschwingzeit
  • Wesentlich schnelleres Ansprechen und höhere Lebensdauer als motorische Antriebe
  • Minimaler Objektiversatz durch Parallelflexureführung
  • Höchste Linearität durch Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
  • Preisgünstige Version mit DMS-Sensoren
  • Kompatibel mit MetaMorph Imaging-Software
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • QuickLock-Gewindeadapter für einfache Installation
  • Freie Apertur bis zu 29 mm Ø
PI P-721 P-709
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PD72Z1x PIFOC® Objektivscansystem 100 µm

Hochdynamischer Piezoantrieb für Sub-Nanometer-Auflösung

  • Komplettes System mit Digitalcontroller, Software und Gewindeadapter
  • Stellweg 100 µm
  • Feinpositionierung von Objektiven mit Sub-nm-Auflösung
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
PI P-915KLPZ
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P-915KLPZ Flacher Piezo-Objektivscanner

Für hohe Scanfrequenzen

  • Flache Bauform 15 mm
  • Stellweg 75 µm
  • Apertur für Objektive mit W 0,8 × 1/36” Gewinde
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen für bessere Fokusstabilität und minimalen Objektivversatz
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Hubtische mit Piezoantrieb und Festkörperführungen

PI P-62x.Z
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P-620.Z - P-622.Z PIHera Vertikaler Präzisionspositionierer

Variabel in Stellweg und Achskonfiguration

  • Stellwege 50 µm bis 250 µm (400 µm ungeregelt)
  • Auflösung bis 0,1 nm
  • Positioniergenauigkeit 0,02 %
  • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
  • X-, XY-, Z- XYZ-Versionen
PI P-611.Z
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P-611.Z Piezohubtisch

Kompakter Nanopositionierer

  • Kompakt: Grundfläche 44 mm x 44 mm
  • Stellweg 100 µm
  • Auflösung bis 0,2 nm
  • Besonders kostengünstige Systeme
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • X-, XY-, XZ- und XYZ-Versionen
PI P-612.Z
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P-612.Z Piezohubtisch

Kompakter Nanopositionierer mit Apertur

  • Stellweg 100 µm
  • Auflösung bis 0,2 nm
  • Linearitätsabweichung 0,2 %
  • Kompakte Grundfläche: 60 mm × 60 mm
  • Besonders kostengünstige Controller / Mechanik Systemkombinationen
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
PI P-733.Z
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P-733.Z Hochdynamischer Z-Nanostelltisch

Direkte Positionsmessung und Apertur

  • Stellweg 100 µm
  • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
  • Auflösung bis 0,3 nm, geregelt
  • Freie Apertur 50 mm × 50 mm
  • Weitere Versionen mit zusätzlichen Freiheitsgraden erhältlich
  • XY und XYZ Versionen verfügbar
  • Vakuumkompatible Versionen erhältlich
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S-303 Piezo-Phasenschieber

Hochdynamische, sub-nanometer-genaue Piezophasenschieber

  • Resonanzfrequenz 25 kHz für höchste Dynamik
  • Geregelte Version mit kapazitivem Sensor für Sub-Nanometer-Genauigkeit und Stabilität
  • Linearstellweg bis 3 µm
  • Geringe Abmessungen Ø 30 mm × 10 mm
  • Ungeregelte Versionen mit Apertur
  • Invar-Option