N-565 Linearpositionierer mit höchster Präzision

NEXACT® Piezoschreitantrieb mit Sub-Nanometer-Encoderauflösung

PI N-565
Ultrapräzise: 2 nm kleinste Schrittweite und direktmessender PIOne Encoder mit 0,5 nm Auflösung
Lange Stellwege: 13 mm, 26 mm oder 52 mm
Selbsthemmend im ausgeschalteten Zustand: Spart Energie und verringert die Wärmeentwicklung
Lange Lebensdauer und hohe Zuverlässigkeit durch PiezoWalk® Technologie
Kompakte Bauform: 65 mm Breite, 20 mm Höhe

NEXACT® Linearpositionierer der Referenzklasse

Linearpositionierer mit NEXACT® PiezoWalk® Antrieben ermöglichen hochpräzise Positionierung im Nanometerbereich auf langen Stellwegen. Sie sind mit direktmessenden Linearencodern und Kreuzrollenlagern für höchste Genauigkeit ausgestattet. Aufgrund ihrer kompakten und flachen Bauform können die Positionierer mechanisch leicht integriert werden. Zum Betrieb werden nur geringe Spannungen benötigt.

PiezoWalk® Technologie: Hohe Auflösung und niedriger Verschleiß

Die PiezoWalk® Technologie kombiniert die technologischen Vorteile von Piezoaktoren mit denjenigen von Piezomotoren. PiezoWalk® Schreitantriebe bieten nicht nur eine Sub-Nanometer-Auflösung, hohe Kräfte und hohe Steifigkeiten, sondern ermöglichen auf Basis ihres Antriebsprinzips theoretisch unbegrenzte Stellwege. PiezoWalk® Schreitantriebe sind anders als andere piezomotorische Antriebsprinzipien keinen Gleitreibungseffekten unterworfen. Sie basieren auf Haftreibungskontakten mehrerer Piezoaktoren, die auf einem Läufer schreiten. Für den Vorschub heben die Aktoren physikalisch vom Läufer ab, wodurch kaum Verschleiß und Abrieb auftritt. Die Vorspannung der Aktoren gegen den Läufer sorgt für die Selbsthemmung des Schreitantriebs. Somit hält der Schreitantrieb die Position in Ruhe und im ausgeschalteten Zustand mechanisch stabil (kein Servozittern). Aufgrund dieser Selbsthemmung in Ruhe wird keine Energie verbraucht und keine Wärme erzeugt.

Direkte Positionsmessung mit PIOne Linearencoder

Der hochauflösende PIOne Encoder wurde von PI entwickelt und erlaubt bei entsprechender Messauswertung eine Positionsauflösung von weit unter einem Nanometer. Die optisch und kontaktlos arbeitenden PIOne Encoder basieren auf einem interferometrischen Messprinzip. Sie messen die Ist-Position mit höchster Genauigkeit direkt an der bewegten Plattform, so dass Nichtlinearität, mechanisches Spiel oder elastische Deformation keinen Einfluss auf die Positionsmessung haben. Durch die kleine Signalperiode von 0,5 µm und die hohe Qualität der Signale erreichen PIOne Encoder eine Linearitätsabweichung von weniger als 1 %. PIOne Encoder unterstützen die Richtungserkennung bei der Auswertung eines Referenzsignals.

Kreuzrollenlager

Bei Kreuzrollenlagern wird der Punktkontakt der Kugeln in Kugellagern durch den Linienkontakt gehärteter Rollen ersetzt. Sie sind dadurch wesentlich steifer und kommen mit geringerer Vorspannung aus, was die Reibung reduziert und einen gleichmäßigeren Lauf ermöglicht. Kreuzrollenlager zeichnen sich darüber hinaus durch hohe Führungsgenauigkeit und Tragfähigkeit aus. Zwangsgesteuerte Wälzkörperkäfige verhindern ein Auswandern der Wälzlager.

Geltende Patente

Im technologischen Umfeld der Piezoschreitantriebe (NEXACT®, NEXLINE®) hält PI folgende Patente oder Patentanmeldungen:

DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2, DE4408618B4

Einsatzgebiete

Probenmanipulation, Positionierung von Proben, Optiken oder mechanischen Komponenten mit hoher Präzision und Stabilität, Präzisionsmechanik in der Halbleiterindustrie, Mikromanipulation, Mikroskopie, Automatisierung, Anwendungen unter beengten Platzverhältnissen, Anwendungen im Vakuum oder in nichtmagnetischen Umgebungen.


N-565.160

N-565.260

N-565.360

Einheit

Toleranz

Bewegung und Positionieren

Aktive Achsen

x

x

x

Stellweg

13

26

52

mm

Geschwindigkeit, geregelt

10

10

10

mm/s

max.

Kleinste Schrittweite

2

2

2

nm

Systemauflösung

0,5

0,5

0,5

nm

Bidirektionale Wiederholgenauigkeit

12

12

12

nm

typ.

Unidirektionale Wiederholgenauigkeit

±5

±5

±5

nm

typ.

Geradheit / Ebenheit

±1

±1

±1,5

µm

typ.

Neigen

±30

±40

±80

µrad

typ.

Gieren

±30

±30

±30

µrad

typ.


Sensor

Sensortyp

Linearencoder PIOne

Linearencoder PIOne

Linearencoder PIOne

Messprinzip

Optisch

Optisch

Optisch

Messmethode

Direktmessung

Direktmessung

Direktmessung

Sensorauflösung

0,5

0,5

0,5

nm


Mechanische Belastbarkeit

Druckbelastbarkeit

20

20

20

N

max.

Haltekraft, passiv

10

10

10

N

min.


Antriebseigenschaften

Motortyp

NEXACT® Piezoschreitantrieb

NEXACT® Piezoschreitantrieb

NEXACT® Piezoschreitantrieb

Antriebskraft

10

10

10

N

max.

Selbsthemmung

10

10

10

N

min.


Anschlüsse

Motor

1 × HD D-Sub, 15-pol., m.

1 × HD D-Sub, 15-pol., m.

1 × HD D-Sub, 15-pol., m.

Sensor

1 × D-Sub, 15-pol., w.

1 × D-Sub, 15-pol., w.

1 × D-Sub, 15-pol., w.


Sonstiges

Referenzschalter

Optisch

Optisch

Optisch

Betriebstemperatur

10 bis 50

10 bis 50

10 bis 50

°C

Betriebsspannung

-10 bis 45

-10 bis 45

-10 bis 45

V

Material

Aluminium, schwarz eloxiert

Aluminium, schwarz eloxiert

Aluminium, schwarz eloxiert

Masse (Versteller mit Kabel und Stecker)

0,3

0,4

0,6

kg

±5 %

Abmessungen

65 × 80 × 20

65 × 110 × 20

65 × 160 × 20

mm

Kabellänge

3

3

3

m

±10 mm

Die Verstellerserie N-565 ersetzt die Serie LPS-65.

Zeichnungen / Bilder

PI N-565

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt N-565

Linearpositionierer mit höchster Präzision, NEXACT Piezoschreitantriebe mit Sub- Nanometer Encoderauflösung
2016-05-30
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Dokumentation

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Benutzerhandbuch MP148D110

N-565 NEXACT® Versteller
1.1.0
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Kurzanleitung MP137EK

N-524, N-565, N-765 NEXACT® Versteller
2.0.0
Alle
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3D Modelle

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N-565 STEP

Englisch
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