N-381 NEXACT® Linearaktor, Mikromanipulator, Piezostepper

Hochauflösend, mit optionalem Positionssensor

N-381 NEXACT® Linearaktor, Mikromanipulator, Piezostepper
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Stellweg 30 mm
  • Stellkraft bis 10 N
  • Mit NEXACT® Piezoschreitantrieb
  • Optional: Integrierter Linearencoder mit 20 nm Auflösung

Einsatzgebiete

  • Industrielle Präzisionspositionierung
  • Halbleitertechnik
  • Halbleitertests
  • Wafer-Inspektion
  • Lithografie
  • Nanoimprint
  • Nanometrologie
  • Bewegung in starken Magnetfeldern und im Vakuum

Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben

Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.

Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder

Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.

Spezifikationen

Datenblatt N-381

Version / Datum
2018-04-17
Version / Datum
2018-04-17
Version / Datum
2018-09-16
Dokumentsprache
pdf - 574 KB
pdf - 581 KB
pdf - 657 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt N-381

Version / Datum
2018-04-17
Version / Datum
2018-04-17
Version / Datum
2018-09-16
Dokumentsprache
pdf - 574 KB
pdf - 581 KB
pdf - 657 KB

Dokumentation

Technical Note N381T0002

N-381 NEXACT® Linear Actuator, Manipulator, Piezo Stepper
Version / Datum
2011-05-18
Dokumentsprache Deutsch
pdf - 184 KB

3-D-Modelle

N-381 STEP

Dokumentsprache Englisch

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