N-111 NEXLINE® OEM-Linearaktor

Nanopositionierung über große Stellwege, PiezoWalk® Prinzip

Stellweg 10 mm
Direktmessender Linearencoder mit Auflösung 5 nm
Stellkraft bis 50 N
Haltekraft bis 70 N


N-111.201

N-111.2A1

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X

X


Bewegung und Positionieren

Stellweg

10

10

mm

Schrittweite (Schrittbetrieb)

10 nm bis 7 µm

10 nm bis 7 µm

Stellweg im Analog-Betrieb

±2

±2

µm

Integrierter Sensor

Linearencoder

Auflösung ungeregelt

0,025

0,025

nm

typ.

Auflösung geregelt

5 nm

Geschwindigkeit (10 % Ansteuerung, Vollschrittbetrieb)*

1,0

1,0

mm/s

max.

Geschwindigkeit (100 % Ansteuerung, Vollschritt-Betrieb)*

0,6

0,6

mm/s

max.

Geschwindigkeit (100 % Ansteuerung, Nanoschritt-Betrieb)**

0,4

0,4

mm/s

max.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Stellrichtung

16

16

N/µm

±20 %

Hubkraft (aktiv)***

50

50

N

max.

Haltekraft (passiv)

70

70

N

min.


Antriebseigenschaften

Motortyp

NEXLINE®

NEXLINE®

Betriebsspannung

-250 bis +250

-250 bis +250

V


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-40 bis 80

-40 bis 80

°C

Material

Aluminium, Edelstahl, Titan

Aluminium, Edelstahl, Titan

Masse

245

325

g

Kabellänge

1,5

1,5

m

±10 mm

Stecker

D-Sub 25

D-Sub 25

Empfohlene Controller

E-712.1AM

E-712.1A

* Abhängig von der Steuerelektronik. Die Angaben beziehen sich auf den Betrieb mit E-712 Controller.

** Abhängig von der Steuerelektronik. Die Angaben beziehen sich auf den Betrieb mit E-712 Controller. Die Maximalgeschwindigkeit im Nanoschritt-Betrieb ist auf größtmögliche Konstanz ausgelegt, so dass keine Geschwindigkeitsschwankungen beim Ausführen der Schritte auftreten. Mit dem E-755 Controller werden 0,1 mm/s (geregelt) bzw. 0,2 mm/s (ungeregelt) erreicht.

*** Die Angaben beziehen sich auf die Bewegung im Vollschritt-Betrieb.

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

Kraftvolle und nanometergenaue NEXLINE® Hub- und Kipp- Plattform zur Waferjustage
N-111.20 Abmessungen in mm
PI N-111.2A

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt N-111

NEXLINE® OEM-Linearaktor Nanopositionierung über große Stellwege, PiezoWalk® Prinzip
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Dokumentation

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Benutzerhandbuch MP110

N-111 NEXLINE® OEM-Piezoschreitaktor
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Benutzerhandbuch MP142

N-111.201 und N-111.2A1 NEXLINE® OEM Piezoschreitaktoren
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3D Modelle

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N-111 STEP

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