PD72Z2x/4x PIFOC® Objektivscansystem 400 µm

Hochdynamischer Piezoantrieb für Sub-Nanometer-Auflösung

Komplettes System mit Digitalcontroller, Software und Gewindeadapter
Stellwege bis 400 µm
Feinpositionierung von Objektiven mit Sub-nm-Auflösung
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren


PD72Z2CAA /
PD72Z2CAQ

PD72Z4CAA /
PD72Z4CAQ

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

Z

Z


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg, geregelt

250

400

µm

Auflösung, geregelt

1,5

2,5

nm

typ.

Linearitätsabweichung, geregelt

0,06

0,06

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

±5

±5

nm

typ.

Verkippung θX

6

10

µrad

typ.

Verkippung θY

45

45

µrad

typ.

Übersprechen in X

20

60

nm

typ.

Übersprechen in Y

40

60

nm

typ.

Einschwingzeit (Schritt 0,5 µm mit 5 % Genauigkeit, 150 g)

15

20

ms

typ.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Stellrichtung

0,17

0,12

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz unbelastet

330

230

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet, 150 g

140

120

Hz

±20 %

Druck-/ Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

100 / 20

100 / 20

N

max.


Antriebseigenschaften

Piezokeramik

PICMA® P-885

PICMA® P-885


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

10 bis 50

10 bis 50

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Masse

0,23

0,23

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

m


Piezocontroller

E-709 (im Lieferumfang enthalten)

     

Schnittstelle / Kommunikation

USB, RS-232

     

I/O-Stecker

HD-D-Sub 26-pol.

1 Analogeingang 0 bis10 V

1 Sensormonitor 0 bis10 V

1 Digitaleingang (LVTTL, programmierbar)

1 Analogausgang

5 Digitalausgänge (LVTTL, 3x vordefiniert, 2x programmierbar)

     

Befehlssatz

PI General Command Set (GCS)

     

Bedienersoftware

PIMikroMove®

     

Softwaretreiber

LabVIEW-Treiber, dynamische Bibliotheken für Windows und Linux

     

Unterstützte Funktionen

Funktionsgenerator, Datenrecorder, Auto Zero, Trigger I/O, MATLAB, MetaMorph, µManager

     

Abmessungen Controller

160 mm × 96 mm × 33 mm

     

Zeichnungen / Bilder

PI PD72z2x
PI PD72z2x
PI PD72z2x Diagramm

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt PD72Z2x/4x

PIFOC® Objektivscansystem 400 µm hochdynamischer Piezoantrieb für Sub-Nanometer-Auflösung
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