PD72Z1x PIFOC® Objektivscansystem 100 µm

Hochdynamischer Piezoantrieb für Sub-Nanometer-Auflösung

Komplettes System mit Digitalcontroller, Software und Gewindeadapter
Stellweg 100 µm
Feinpositionierung von Objektiven mit Sub-nm-Auflösung
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren

PIFOC® Objektivscansystem mit Controller und Software

Freie Apertur bis Ø 29 mm. QuickLock-Adapter für einfache Installation

Positionsmessung

Mit preisgünstigeren Dehnmessstreifen (DMS) oder mit hochgenauen Kapazitivsensoren für höchste Linearität und Stabilität. Digitale Einstellung der Regelparameter über Datenrecorder

Schnittstellen

USB, RS-232 und analog

Bedienersoftware und Funktionen

PIMikroMove®, PI General Command Set (GCS). Treiber für LabVIEW, dynamische Bibliotheken für Windows und Linux. Kompatibel mit µManager, MetaMorph, MATLAB

Einsatzgebiete

Mikroskopie, konfokale Mikroskopie, 3D-Imaging, Screening, Autofokussysteme, Oberflächenanalyse, Waferinspektion

Spezifikationen

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PI Datenblatt PD72Z1x

PIFOC® Objektivscansystem 100 µm hochdynamischer Piezoantrieb für Sub-Nanometer-Auflösung
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Zeichnungen / Bilder

PI PD72Z1
PI PD72Z1x
PI PD72Z1x Diagramm

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Datenblatt

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PI Datenblatt PD72Z1x

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