PD72Z1x PIFOC® Objektivscansystem 100 µm

Hochdynamischer Piezoantrieb für Sub-Nanometer-Auflösung

Komplettes System mit Digitalcontroller, Software und Gewindeadapter
Stellweg 100 µm
Feinpositionierung von Objektiven mit Sub-nm-Auflösung
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren

PIFOC® Objektivscansystem mit Controller und Software

Freie Apertur bis Ø 29 mm. QuickLock-Adapter für einfache Installation

Positionsmessung

Mit preisgünstigeren Dehnmessstreifen (DMS) oder mit hochgenauen Kapazitivsensoren für höchste Linearität und Stabilität. Digitale Einstellung der Regelparameter über Datenrecorder

Schnittstellen

USB, RS-232 und analog

Bedienersoftware und Funktionen

PIMikroMove®, PI General Command Set (GCS). Treiber für LabVIEW, dynamische Bibliotheken für Windows und Linux. Kompatibel mit µManager, MetaMorph, MATLAB

Einsatzgebiete

Mikroskopie, konfokale Mikroskopie, 3D-Imaging, Screening, Autofokussysteme, Oberflächenanalyse, Waferinspektion


PD72Z1SAA /
PD72Z1SAQ

PD72Z1CAA /
PD72Z1CAQ

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

Z

Z


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

DMS

Kapazitiv

Stellweg, geregelt

100

100

µm

Auflösung, geregelt

5

1

nm

typ.

Linearitätsabweichung, geregelt

0,2

0,06

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

±10

±5

nm

typ.

Verkippung θX, θY

13

13

µrad

typ.

Übersprechen in X, Y

100

100

nm

typ.

Einschwingzeit (Schritt 0,5 µm mit 5 % Genauigkeit, 150 g)

10

10

ms

typ.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Stellrichtung

0,3

0,3

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz, unbelastet

580

580

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 120 g

235

235

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 200 g

180

180

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

100 / 20

100 / 20

N

max.


Antriebseigenschaften

Piezokeramik

PICMA® P-885

PICMA® P-885


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

10 bis 50

10 bis 50

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Masse

0,22

0,24

kg

±5 %

Kabellänge

1

1

m


Piezocontroller

E-709 (im Lieferumfang enthalten)

     

Schnittstelle / Kommunikation

USB, RS-232, SPI

     

I/O-Stecker

HD-D-Sub 26-pol.

1 Analogeingang 0 bis10 V

1 Sensormonitor 0 bis10 V

1 Digitaleingang (LVTTL, programmierbar)

1 Analogausgang

5 Digitalausgänge (LVTTL, 3x vordefiniert, 2x programmierbar)

     

Befehlssatz

PI General Command Set (GCS)

     

Bedienersoftware

PIMikroMove®

     

Softwaretreiber

LabVIEW-Treiber, dynamische Bibliotheken für Windows und Linux

     

Unterstützte Funktionen

Funktionsgenerator, Datenrecorder, Auto Zero, Trigger I/O, MATLAB, MetaMorph, µManager

     

Abmessungen Controller

160 mm × 96 mm × 33 mm

     

Zeichnungen / Bilder

PI PD72Z1
PI PD72Z1x
PI PD72Z1x Diagramm

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt PD72Z1x

PIFOC® Objektivscansystem 100 µm hochdynamischer Piezoantrieb für Sub-Nanometer-Auflösung
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