P-752 Hochpräziser Nanopositioniertisch

Hochdynamischer und stabiler Piezoscanner mit extremer Führungsgenauigkeit

Auflösung 0,1 nm
Schnelles Ansprechverhalten
Stellweg bis 35 µm
Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
Reibungsfreie Festkörperführungen für sehr hohe Ablaufgenauigkeit
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren


P-752.11C

P-752.1CD

P-752.21C

P-752.2CD

Einheiten

Toleranz

Aktive Achsen

X

X

X

X


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg bei -20 bis +120V, ungeregelt

20

20

35

35

µm

min. (20 % / -0 %)

Stellweg, geregelt

15

15

30

30

µm

Auflösung, ungeregelt / geregelt

0,1

0,1

0,2

0,2

nm

typ.

Linearitätsabweichung, geregelt

0,03

0,03

0,03

0,03

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

±1

±1

±2

±2

nm

typ., voller Stellweg

Neigen / Gieren

±1

±1

±1

±1

µrad

typ.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Stellrichtung

30

30

20

20

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz unbelastet

3200

3200

2100

2100

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet, 300 g

980

980

600

600

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

100 / 10

100 / 10

100 / 10

100 / 10

N

max.

Belastbarkeit

30

30

30

30

N

max.

Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

2,1

2,1

3,7

3,7

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

17

17

15

15

µA/(Hz × µm)

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Stahl

Stahl

Stahl

Stahl

Abmessungen

66 mm × 40 mm × 13,5 mm

66 mm × 40 mm × 13,5 mm

84 mm × 40 mm × 13,5 mm

84 mm × 40 mm × 13,5 mm

Masse

0,25

0,25

0,35

0,35

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

LEMO

D-Sub Spezial

LEMO

D-Sub Spezial

Die Auflösung von PI-Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Verstärker

Empfohlene Controller / Verstärker

LEMO-Stecker: E-500 Controllersystem mit E-505 Hochleistungsverstärker und E-509 Servomodul

D-Sub Spezialstecker: E-610 OEM Controller; E-625 Controller Tischgerät; E-665 Leistungsstarker Controller Tischgerät, E-753 Digitalcontroller

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

PI P-752.2xx
PI P-752.1xx
PI P-752.11C Diagramm
PI P-752.11C Diagramm

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Datenblatt

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PI Datenblatt P-752

Hochpräziser Nanopositioniertisch hochdynamischer und stabiler Piezoscanner mit extremer Führungsgenauigkeit
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