P-750 Piezo-Nanopositioniersystem

Hochlast-Nanopositioniersysteme mit Piezoantrieb und Direktmetrologie

Führungsgenauigkeit 1 nm
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Belastbarkeit bis 10 kg
Auflösung <1 nm
Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren für höchste Genauigkeit
Kurze Ansprechzeit durch Direktantrieb
Stellweg 75 µm
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren


Stellweg geregelt / ungeregelt

Auflösung geregelt / ungeregelt

Belastbarkeit

Verkippung Θ
X
, Θ
Y

Resonanzfrequenz (unbelastet)

P-750.00

– / 75 µm

– / 0,4 nm

100 N

±10 µrad

600 Hz

P-750.20 mit Kapazitivsensor

75 µm / 75 µm

1 nm / 0,4 nm

100 N

±10 µrad

600 Hz

* Dynamischer Stromkoeffizient in μA pro Hertz und μm. Beispiel: Sinusbetrieb mit 30 μm bei 10 Hz erfordert ungefähr 3,8 mA Strom.

** Die Auflösung von PI Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Verstärker.

Zeichnungen / Bilder

PI P-750

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PI Datenblatt P-750

Piezo-Nanopositioniersystem Hochlast-Nanopositioniersysteme mit Piezoantrieb und Direktmetrologie
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