P-750 Piezo-Nanopositioniersystem

Hochlast-Nanopositioniersysteme mit Piezoantrieb und Direktmetrologie

Führungsgenauigkeit 1 nm
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Belastbarkeit bis 10 kg
Auflösung <1 nm
Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren für höchste Genauigkeit
Kurze Ansprechzeit durch Direktantrieb
Stellweg 75 µm
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Spezifikationen

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Datenblatt P-750

2015-01-28
2015-01-28
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Zeichnungen / Bilder

PI P-750

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