P-733.Z Hochdynamischer Z-Nanostelltisch

Direkte Positionsmessung und Apertur

Stellweg 100 µm
Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
Auflösung bis 0,3 nm, geregelt
Freie Apertur 50 mm × 50 mm
Weitere Versionen mit zusätzlichen Freiheitsgraden erhältlich
XY und XYZ Versionen verfügbar
Vakuumkompatible Versionen erhältlich


P-733.ZCD
P-733.ZCL

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

Z


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt

115

µm

min.(20 % / -0 %)

Stellweg, geregelt

100

µm

Auflösung, ungeregelt

0,2

nm

typ.

Auflösung, geregelt

0,3

nm

typ.

Linearitätsabweichung

0,03

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

<2

nm

typ.

Verkippung um Z

<10

µrad

typ.

Verkippung um X

<5

µrad

typ.

Verkippung um Y

<5

µrad

typ.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit

2,5

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz, unbelastet

700

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 120 g

530

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 200 g

415

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit

50 / 20

N

max.


Antriebseigenschaften

Piezokeramik

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

6

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

7,5

µA / (Hz × µm)

µA / (Hz × mrad) ? siehe NOTA

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Abmessungen

100 mm × 100 mm × 25 mm

Masse

580

g

±5 %

Kabellänge

1,5

m

±10 mm

Sensoranschluss

D-Sub Spezial (CD-Version);

2× LEMO (CL-Version)

Spannungsanschluss

D-Sub Spezial (CD-Version);

1× LEMO (CL-Version)

Dynamischer Stromkoeffizient (DSK) in µA pro Hertz und mrad. Beispiel: Sinusbetrieb mit 10 µm bei 10 Hz erfordert ungefähr 3 mA Strom.

vgl. DATA (mrad vs. µm)

Empfohlene Controller

Einkanalig:

E-610 Piezoverstärker / Servocontroller

E-625 Piezo-Servocontroller (Tischgerät)

E-621 Piezoservocontroller

E-753 Digitaler Piezocontroller (Tischgerät)

Mehrkanalig:

Modulares Piezocontroller-System E-500 mit Verstärkermodul E-503 (dreikanalig) oder E-505 (1 je Achse, hohe Leistung) und E-509 Regler

Zeichnungen / Bilder

PI P-733.Z
PI P-733.ZCD Diagramm

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt P-733.Z

Hochdynamischer Z-Nanostelltisch direkte Positionsmessung und Apertur
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Dokumentation

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Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
3.0.0
Alle
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3D Modelle

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P-733.Z STEP

Englisch
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