P-726 PIFOC® Hochlast Objektivscanner

Hochdynamisches Scansystem mit großem Stellweg für schwere Objektive

Hochdynamisches Positionieren und Scannen für große Objektive
Resonanzfrequenz 1120 Hz, 560 Hz mit 210 g Objektivmasse
Typ. Einschwingzeit um 6 ms
Stellweg 100 µm
Höchste Linearität, Stabilität und Regeldynamik durch direkt messende kapazitive Sensoren
Auflösung bis 0,3 nm
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen für bessere Fokusstabilität


P-726.1CD

Toleranz

Aktive Achsen

Z


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv / Direktmetrologie

Stellweg, geregelt

100 µm

Auflösung, geregelt

0,4 nm

typ.

Auflösung, ungeregelt

0,3 nm

typ.

Linearitätsabweichung, geregelt

0,02 %

typ.

Wiederholgenauigkeit

±3 nm

typ.

Verkippung θX, θY

±5 µrad

typ.

Übersprechen in X, Y

50 nm

typ.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Stellrichtung

3,4 N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz unbelastet

1120 Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet

560 Hz (210 g)

±20 %

Resonanzfrequenz belastet

480 Hz (310 g)

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

100 / 50 N

max.

Belastbarkeit

20 N

max.


Antriebseigenschaften

Piezokeramiktyp

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

6 µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

7,5 µA/(Hz × µm)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80 °C

Material

Aluminium, Stahl

Abmessungen

Durchmesser: 65 mm

Höhe: 50,7 mm

Objektivdurchmesser

M32

max.

Masse

575 g

±5 %

Kabellänge

1,5 m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

D-Sub Spezial

Empfohlene Controller / Verstärker

Einkanaliger Digitalcontroller: E-753 (Tischgerät)

Einkanalig: E-625 Controller Tischgerät, E-665 leistungsstarker Controller Tischgerät

Modulares Piezocontroller-System E-500 mit Verstärkermodul E-505 (hohe Leistung) und E-509 Regler

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

PI P-726
Einschwingverhalten des P-726 unter Last
PI P-726 QuickLock

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Datenblatt

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PI Datenblatt P-726

PIFOC® Hochlast Objektivscanner hochdynamisches Scansystem mit großem Stellweg für schwere Objektive
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