P-725.xDD PIFOC® Hochdynamischer Scanner

Nanopositionier- und Scansystem für Mikroskopobjektive

Kürzeste Einschwingzeit unter 5 ms mit Mikroskopobjektiv
Stellweg 18 µm
Feinpositionierung von Objektiven mit Sub-nm Auflösung
Minimaler Objektivversatz durch Parallelflexureführung
Höchste Linearität durch Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
Preisgünstige Version mit DMS-Sensoren
Kompatibel mit Metamorph™ Imaging-Software
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
QuickLock-Adapter für einfache Installation

P-725.CDD

P-725.SDD

Einheiten

Toleranz

Aktive Achsen

Z

Z

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

DMS

Stellweg bei -20 bis +120 V, ungeregelt

18

18

µm

min. (20 % / -0 %)

Stellweg, geregelt

18

18

µm

Auflösung, ungeregelt

0,2

0,2

nm

typ.

Auflösung, geregelt

0,2

0,2

nm

typ.

Linearitätsabweichung, geregelt

0,04*

0,5

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

±1,5

±5

nm

typ.

Verkippung θX, θY

2

2

µrad

typ.

Übersprechen in X, Y

150

150

nm

typ.

Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Stellrichtung

1,5

1,5

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz unbelastet

1180

1180

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet, 200 g

450

450

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

100 / 20

100 / 20

N

max.

Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-887

PICMA® P-887

Elektrische Kapazität

3,1

3,1

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

19,4

19,4

µA/(Hz × µm)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Masse

0,21

0,2

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

D-Sub Spezial

LEMO

* Empfohlene Controller:

E-610 Controller / Verstärker, E-625 Controller Tischgerät, E-665 leistungsstarker Controller Tischgerät

E-753 Digitaler Piezocontroller, 1 Kanal, Tischgerät

Mit Digitalcontroller E-753. Bei Analogcontrollern kann die Linearitätsabweichung für direkt getriebene Versteller typ. bis 0,1 % betragen.

E-753 Digitaler Piezocontroller, 1 Kanal, Tischgerät

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

[Translate to German:] PI P-725.xDD Drawing

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Datenblatt

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PI Datenblatt P-725.xDD

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