P-721KPTZ Power-PIFOC® Mikroskoprevolver-Versteller

Hochlastsystem mit direkter Metrologie

Feinpositionierung von Objektiven mit Sub-Nanometer-Auflösung
Stellwege bis 150 µm
ms-Einschwingzeit
Minimaler Objektivversatz durch Parallelflexureführung
Höchste Linearität durch Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren


Belastbarkeit

Stellweg, geregelt

Resonanzfrequenz

Masse

P-721KPTZ

20 N

bis 150 µm

410 Hz (ohne Last)

1,5 kg

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PI Datenblatt P-721KPTZ

Power-PIFOC® Mikroskoprevolver-Versteller hochlastsystem mit direkter Metrologie
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