P-630 Hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem

1 Achse mit großer Apertur

PI P-630
Resonanzfrequenz bis 3,25 kHz
Stellwege bis 80 µm
Schmale und flache Bauform
Apertur mit 30 mm Durchmesser

Nanopositionierer der Referenzklasse

1 Achse. Reibungsfreie Festkörpergelenke, direkt getrieben. Kapazitiver Positionssensor für bestmögliche Stabilität und Linearität

PICMA® Hochleistungsantrieb

Piezokeramische Aktoren mit vollkeramischer Isolation. Höhere Lebensdauer, unempfindlich gegen Feuchtigkeit und Betriebstemperaturen bis 80 °C

Einsatzgebiete

Präzisionspositionierung in Industrie und Forschung von optischen Elementen oder Objekten im Strahlengang, Mikrofertigung und -strukturierung, Scanningaufgaben. Vakuumoption möglich


P-630.XCD

P-631.XCD

Einheit

Aktive Achsen

X

X


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt

45

90

µm

Stellweg, geregelt

40

80

µm

Auflösung, ungeregelt

0,1

0,1

nm

Auflösung, geregelt

0,2

0,2

nm

Linearitätsabweichung, geregelt

0,02

0,02

%

Wiederholgenauigkeit über den gesamten Stellweg

±2

±3

nm

Neigen / Gieren

±5

±5

µrad

Geradheit / Ebenheit

50

50

nm


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Stellrichtung

5,5

5

N / µm

Resonanzfrequenz, unbelastet

3250

2850

Hz

Resonanzfrequenz, belastet, 60 g

1600

1200

Hz

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

10

10

N

Belastbarkeit

10

10

N


Antriebseigenschaften

Piezokeramik

PICMA® P-887

PICMA® P-885; P-887

Elektrische Kapazität

6,4

12,6

µF

Dynamischer Stromkoeffizient

20

20

µA / Hz × µm


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

0 bis 40

0 bis 40

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Abmessungen

102 mm × 50 mm × 18 mm

102 mm × 50 mm × 18 mm

Masse

300

320

g

Kabellänge

1,5

1,5

m

Sensor- / Spannungsanschluss

D-Sub Spezialstecker (einachsig, kapazitiv)

D-Sub Spezialstecker (einachsig, kapazitiv)

Empfohlene Controller / Verstärker

E-709.CRpreisgünstiger Digitalcontroller

E-709.CHG Digitalcontroller für hohe Dynamik und schnelles Einschwingen

E-753.1CDDigitalcontroller für hohe Auflösung und Linearität

E-709.CRpreisgünstiger Digitalcontroller

E-709.CHG Digitalcontroller für hohe Dynamik und schnelles Einschwingen

E-753.1CDDigitalcontroller für hohe Auflösung und Linearität

Zeichnungen / Bilder

PI P-630
Die Einschwingzeit beträgt beim P-630.XCD weniger als 6 Millisekunden auf 1 % Genauigkeit und ein 4 µm Schritt.

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt P-630

Hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem 1 Achse mit großer Apertur
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Dokumentation

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Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
3.0.0
Alle
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Benutzerhandbuch PZ247

P-630, P-631 Piezo-Nanopositioniersysteme mit Apertur und kapazitivem Sensor
1.0.0
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Sonstiges

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TOPICS – das PI Magazin, Ausgabe 49

Hexapoden über Feldbus ansteuern, PIMag®: Magnetische Direktantriebe und Positioniersysteme, U-264KSPA mit PILine® Ultraschall-Piezomotoren, Piezo-Nanopositioniersystem P-630 und vieles mehr ...
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