P-620.1 – P-629.1 PIHera Linearer Präzisionspositionierer

Variabel in Stellweg und Achskonfiguration

Positioniersystem, basierend auf piezoelektrischen Aktoren mit einem Stellweg von 250 µm und einer Wiederholgenauigkeit um 1 nm.
Stellwege 50 bis 1800 µm
Auflösung bis 0,1 nm
Linearitätsabweichung 0,02%
Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
X-, XY-, Z-, XYZ-Versionen

Linearpositionierer der Referenzklasse

Außergewöhnlich zuverlässig durch Kombination von reibungs-, wartungs- und verschleißfreien Komponenten. Vakuumversionen bis 10-9 hPa

 

 

Integriertes Hebel- / Führungsmodul für flexiblen Aufbau verschiedener Achskonfigurationen

Reibungsfreie Festkörpergelenke zur Führung kombiniert mit Hebelübersetzung für lange Stellwege. Antrieb durch vollkeramisch isolierte PICMA® Aktoren mit überragender Lebensdauer

 

Direkte Positionsmessung mit kapazitiven Sensoren

Berührungslose Messmethode (Direktmetrologie). Reibungsfrei. Sub-Nanometer Auflösung. Hervorragende Linearität. Hohe Bandbreite bis zu 10 kHz

 

Einsatzgebiete

Industrie und Forschung. Vakuumumgebung bis 10-9 hPa

Spezifikationen

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Datenblatt P-620.1 – P-629.1

2015-15-10
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Zeichnungen / Bilder

Schnelle Scanbewegung eines P-621.1CD (Anstiegszeitvorgabe: 5 ms) mit dem E-710 Digitalcontroller (s. S. 2-128) und DDL-Option. Die digitale dynamische Linearisierung reduziert den Trackingfehler während des Scans auf <20 nm. Die Verbesserung gegenüber einem Standard-PID-Regler beträgt bis zu 3 Größenordnungen und nimmt mit der Frequenz zu

Versionen mit D-Sub-Stecker

P-620.1CD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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P-621.1CD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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P-622.1CD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 250 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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P-625.1CD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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P-628.1CD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 800 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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P-629.1CD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 1500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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Versionen mit LEMO-Stecker

P-620.1CL
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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P-621.1CL
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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P-622.1CL
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 250 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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P-625.1CL
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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P-628.1CL
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 800 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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P-629.1CL
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 1500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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PIHera Linearpositionierer ohne Positionssensor

P-620.10L
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 60 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker
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P-622.10L
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 300 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker
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P-625.10L
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 600 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker
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P-628.10L
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 950 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker
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P-629.10L
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 1800 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker
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PIHera Linearpositionierer vakuumkompatibel bis 10 hPa

P-620.1UD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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P-621.1UD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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P-622.1UD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 250 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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P-625.1UD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker,vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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P-628.1UD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 800 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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P-629.1UD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 1500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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Datenblatt

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Datenblatt P-620.1 – P-629.1

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Dokumentation

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Benutzerhandbuch PZ234

P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren
2014-07-15
2014-07-15
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Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
4.0.0 2017-02-06
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3-D-Modelle

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P-62x.1 STEP

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Sonstiges

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Success Story: Optische 3D-Oberflächenmesstechnik

Profiltreue Wiedergabe feinster Strukturen dank Piezotechnologie und Konfokaltechnik. Autor: Gernot Hamann
SUCESS STORY pi1135
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