P-620.1 – P-629.1 PIHera Linearer Präzisionspositionierer

Variabel in Stellweg und Achskonfiguration

Positioniersystem, basierend auf piezoelektrischen Aktoren mit einem Stellweg von 250 µm und einer Wiederholgenauigkeit um 1 nm.
Stellwege 50 bis 1800 µm
Auflösung bis 0,1 nm
Positioniergenauigkeit 0,02%
Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
X-, XY-, Z-, XYZ-Versionen

Linearpositionierer der Referenzklasse

Außergewöhnlich zuverlässig durch Kombination von reibungs-, wartungs- und verschleißfreien Komponenten. Vakuumversionen bis 10-9 hPa

Integriertes Hebel- / Führungsmodul für flexiblen Aufbau verschiedener Achskonfigurationen

Reibungsfreie Festkörpergelenke zur Führung kombiniert mit Hebelübersetzung für lange Stellwege. Antrieb durch vollkeramisch isolierte PICMA® Aktoren mit überragender Lebensdauer

Direkte Positionsmessung mit kapazitiven Sensoren

Berührungslose Messmethode (Direktmetrologie). Reibungsfrei. Sub-Nanometer Auflösung. Hervorragende Linearität. Hohe Bandbreite bis zu 10 kHz

Einsatzgebiete

Industrie und Forschung. Vakuumumgebung bis 10-9 hPa


P-620.1CD
P-620.1CL

P-621.1CD
P-621.1CL

P-622.1CD
P-622.1CL

P-625.1CD
P-625.1CL

P-628.1CD
P-628.1CL

P-629.1CD
P-629.1CL

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X

X

X

X

X

X


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt

60

120

300

600

950

1800

µm

min. (20 % / -0 %)

Stellweg, geregelt

50

100

250

500

800

1500

µm

Auflösung, geregelt / ungeregelt

0,2 / 0,1

0,4 / 0,2

0,7 / 0,4

1,4 / 0,5

1,8 / 0,5

3 / 2

nm

typ.

Linearitätsabweichung, geregelt

0,02

0,02

0,02

0,03

0,03*

0,03**

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

±1

±1

±1

±5

±10

±14

nm

typ.

Neigen / Gieren

±3

±3

±3

±6

±6

±30 / ±10

µrad

typ.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Stellrichtung

0,42

0,35

0,2

0,1

0,12

0,13

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz, unbelastet

1100

800

400

215

125

125

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 20 g

550

520

340

180

115

120

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 120 g

260

240

185

110

90

110

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

10

10

10

10

10

10

N

max.

Belastbarkeit

10

10

10

10

10

10

N

max.

Querbelastbarkeit

10

10

10

10

10

8

N

max.


Antriebseigenschaften

Piezokeramik

PICMA® P-883

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-887

PICMA® P-888

Elektrische Kapazität

0,35

1,5

3,1

6,2

19

52

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

0,9

1,9

1,9

1,6

3

4,3

µA / (Hz × µm)

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Abmessungen

30 mm × 30 mm × 12 mm

40 mm × 40 mm × 15 mm

50 mm × 50 mm × 15 mm

60 mm × 60 mm × 15 mm

80 mm × 80 mm × 17 mm

100 mm × 100 mm × 22,5 mm

Masse

0,11

0,16

0,2

0,24

0,38

0,72

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

CD-Versionen: D-Sub Spezial

CL-Versionen: LEMO

             

Versionen ohne Sensor sind unter den Bestellnummern P-62x.10L erhältlich; Betriebstemperaturbereich -20 bis 150 °C. Spannungsanschluss LEMO.

Vakuumversionen bis 10-9 hPa sind unter den Bestellnummern P-62x.1UD erhältlich.

Die Auflösung von PI-Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Rauschen mit Digitalcontroller E-710.

* Mit Digitalcontroller. Mit analogen Controllern 0,05 %

** Mit Digitalcontroller. Mit analogen Controllern 0,08 %

Zeichnungen / Bilder

Schnelle Scanbewegung eines P-621.1CD (Anstiegszeitvorgabe: 5 ms) mit dem E-710 Digitalcontroller (s. S. 2-128) und DDL-Option. Die digitale dynamische Linearisierung reduziert den Trackingfehler während des Scans auf <20 nm. Die Verbesserung gegenüber einem Standard-PID-Regler beträgt bis zu 3 Größenordnungen und nimmt mit der Frequenz zu

Versionen mit D-Sub-Stecker

P-620.1CD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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P-621.1CD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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P-622.1CD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 250 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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P-625.1CD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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P-628.1CD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 800 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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P-629.1CD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 1500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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Versionen mit LEMO-Stecker

P-620.1CL
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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P-621.1CL
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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P-622.1CL
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 250 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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P-625.1CL
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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P-628.1CL
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 800 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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P-629.1CL
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 1500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
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PIHera Linearpositionierer ohne Positionssensor

P-620.10L
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 60 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker
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P-621.10L
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 120 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker
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P-622.10L
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 300 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker
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P-625.10L
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 600 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker
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P-628.10L
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 950 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker
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P-629.10L
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 1800 µm, ohne Sensor, LEMO-Stecker
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PIHera Linearpositionierer vakuumkompatibel bis 10 hPa

P-620.1UD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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P-621.1UD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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P-622.1UD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 250 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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P-625.1UD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker,vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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P-628.1UD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 800 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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P-629.1UD
Präzises PIHera Linear-Nanopositioniersystem, 1500 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt P-620.1 – P-629.1

PIHera Linearer Präzisionspositionierer variabel in Stellweg und Achskonfiguration
1.0.0
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Dokumentation

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Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
3.0.0
Alle
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pdf
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Benutzerhandbuch PZ234

P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren
1.0.0
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3D Modelle

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P-62x.1 STEP

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Englisch
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Sonstiges

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Success Story: Optische 3D-Oberflächenmesstechnik

Profiltreue Wiedergabe feinster Strukturen dank Piezotechnologie und Konfokaltechnik. Autor: Gernot Hamann
SUCESS STORY pi1135
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