P-612.Z Piezohubtisch

Kompakter Nanopositionierer mit Apertur

Stellweg 100 µm
Auflösung bis 0,2 nm
Linearitätsabweichung 0,2 %
Kompakte Grundfläche: 60 mm × 60 mm
Besonders kostengünstige Controller / Mechanik Systemkombinationen
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren


P-612.ZSL

P-612.Z0L

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

Z

Z


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

DMS

-

Stellweg bei -20 bis +120V, ungeregelt

110

110

µm

min. (20 % / -0 %)

Stellweg, geregelt

100

-

µm

Auflösung, ungeregelt

0,2

0,2

nm

typ.

Auflösung, geregelt

1,5

-

nm

typ.

Linearitätsabweichung, geregelt

0,2

-

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

±4

-

nm

typ.

Verkippung θX, θY

±10

±10

µrad

typ.

Übersprechen in X, Y

±20

±20

µm

typ.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Stellrichtung

0,63

0,63

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz unbelastet

490

490

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet

420 (30 g)

420 (30 g)

Hz

±20 %

Belastbarkeit

15 / 10

15 / 10

N

max.

Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

3

3

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

3,8

3,8

µA/(Hzxµm)

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Masse

0,28

0,275

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

LEMO

LEMO (ohne Sensor)

Die Auflösung von PI-Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Verstärker.

Zeichnungen / Bilder

PI P-612.Z
PI P-612.ZSL Diagramm

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Datenblatt

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PI Datenblatt P-612.Z

Piezohubtisch kompakter Nanopositionierer mit Apertur
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