N-310 NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor

Kompakt, schnell, mit großem Stellweg, PiezoWalk® Prinzip

N-310 NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Stellweg 10 bis 125 mm, variable Läuferlänge
  • Kompakte Bauform, preisgünstiges Design
  • Auflösung bis 0,03 nm
  • Stellkraft bis 10 N

Einsatzgebiete

  • Industrielle Präzisionspositionierung
  • Halbleitertechnik
  • Halbleitertests
  • Wafer-Inspektion
  • Lithografie
  • Nanoimprint
  • Nanometrologie
  • Bewegung in starken Magnetfeldern und im Vakuum

Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben

Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.

Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder

Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Piezomotoren von PI sind im Prinzip vakuumtauglich und für den Betrieb unter starken Magnetfeldern geeignet. Hierfür werden Sonderversionen der Antriebe angeboten. Piezoschreitantriebe können auch in Reinräumen oder in Umgebungen mit harter ultravioletter Strahlung eingesetzt werden.

Spezifikationen

Datenblatt N-310

Version / Datum
2018-04-17
Version / Datum
2018-04-17
Version / Datum
2017-11-16
Dokumentsprache
pdf - 666 KB
pdf - 678 KB
pdf - 748 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt N-310

Version / Datum
2018-04-17
Version / Datum
2018-04-17
Version / Datum
2017-11-16
Dokumentsprache
pdf - 666 KB
pdf - 678 KB
pdf - 748 KB

Dokumentation

Benutzerhandbuch N310T0012

N-310 NEXACT® OEM Miniatur-Linearantrieb
Version / Datum
2017-04-28
Dokumentsprache Englisch
pdf - 325 KB

3-D-Modelle

N-310 STEP

Dokumentsprache Englisch

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