N-216 NEXLINE® Linearaktor

Nanopositionierung über große Stellwege, mit hohen Kräften, PiezoWalk® Prinzip

N-216 NEXLINE® Linearaktor
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Einsatzgebiete

  • Industrielle Präzisionspositionierung
  • Halbleitertechnik
  • Halbleitertests
  • Wafer-Inspektion
  • Lithografie
  • Nanoimprint
  • Nanometrologie
  • Bewegung in starken Magnetfeldern und im Vakuum

Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben

Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.

Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder

Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Piezomotoren von PI sind im Prinzip vakuumtauglich und für den Betrieb unter starken Magnetfeldern geeignet. Hierfür werden Sonderversionen der Antriebe angeboten. Piezoschreitantriebe können auch in Reinräumen oder in Umgebungen mit harter ultravioletter Strahlung eingesetzt werden.

Spezifikationen

Datenblatt N-216

Version / Datum
2018-07-17
Version / Datum
2018-07-17
Version / Datum
2018-07-17
Dokumentsprache
pdf - 713 KB
pdf - 722 KB
pdf - 790 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt N-216

Version / Datum
2018-07-17
Version / Datum
2018-07-17
Version / Datum
2018-07-17
Dokumentsprache
pdf - 713 KB
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Dokumentation

Benutzerhandbuch N216T0013

N-216.101, .1A1, .201, .2A1 NEXLINE® Piezoschreit-Hochlastaktoren
Version / Datum
2017-07-20
Dokumentsprache Englisch
pdf - 1 MB

3-D-Modelle

N-216 STEP

Dokumentsprache Englisch

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