N-111 NEXLINE® OEM-Linearaktor

Nanopositionierung über große Stellwege, PiezoWalk® Prinzip

  • Stellweg 10 mm
  • Direktmessender Linearencoder mit Auflösung 5 nm
  • Stellkraft bis 50 N
  • Haltekraft bis 70 N
N-111 NEXLINE® OEM-Linearaktor
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Einsatzgebiete

  • Industrielle Präzisionspositionierung
  • Halbleitertechnik
  • Halbleitertests
  • Wafer-Inspektion
  • Lithografie
  • Nanoimprint
  • Nanometrologie
  • Bewegung in starken Magnetfeldern und im Vakuum

Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben

Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.

Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder

Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Piezomotoren von PI können vakuumtauglich gestaltet werden und sind für den Betrieb unter starken Magnetfeldern geeignet. Hierfür werden Sonderversionen der Antriebe angeboten. Piezoschreitantriebe können auch in Reinräumen oder in Umgebungen mit harter ultravioletter Strahlung eingesetzt werden.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt N-111

Version / Datum
2023-01-23
pdf - 697 KB
Version / Datum
2023-01-23
pdf - 696 KB
Version / Datum
2019-01-22
pdf - 670 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt N-111

Version / Datum
2023-01-23
pdf - 697 KB
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2023-01-23
pdf - 696 KB
Version / Datum
2019-01-22
pdf - 670 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch MP142

N-111.201 und N-111.2A1 NEXLINE® OEM Piezoschreitaktoren

Version / Datum
1.0.4 2022-11-08
pdf - 1 MB
Version / Datum
1.0.4 2022-11-04
pdf - 1 MB

3-D-Modelle

3-D-Modelle

N-111 3D-Modell

zip - 431 KB

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