P-734 XY-Piezoscanner

Hochdynamisch, höchste Ablaufgenauigkeit, mit Apertur

Ablaufebenheit 5 nm, ideal für Oberflächenanalyse und Scanning-Mikroskopie
Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
Stellweg 100 µm × 100 µm
Freie Apertur 56 mm × 56 mm
Auflösung <0,4 nm durch kapazitive Positionssensoren
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren


P-734.2CL

P-734.2CD

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X, Y

X, Y


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt

110 µm × 110 µm

110 µm × 110 µm

min. (+20 % / -0 %)

Stellweg, geregelt

100 µm × 100 µm

100 µm × 100 µm

Auflösung, ungeregelt

0,2

0,2

nm

typ.

Auflösung, geregelt

0,3

0,3

nm

typ.

Linearitätsabweichung

0,03

0,03

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

<2,5

<2,5

nm

typ.

Neigen

<3

<3

µrad

typ.

Gieren

<10

<10

µrad

typ.

Ebenheit

typ. <5max. 10

typ. <5max. 10

nm


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit

3

3

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz, unbelastet

500

500

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, 200 g

350

350

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, 500 g

250

250

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

300 / 100

300 / 100

N

max.

Belastbarkeit

20

20

N

max.


Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

6,2

6,2

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

7,8

7,8

µA / (Hz × µm)

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Masse (mit Kabeln)

1,04

1,04

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensoranschluss

2 × LEMO

D-Sub-Spezial

Spannungsanschluss

4 × LEMO

D-Sub-Spezial

Dynamischer Stromkoeffizient in µA pro Hertz und µm. Beispiel: Sinusbetrieb mit 10 µm bei 10 Hz erfordert ungefähr 7,8 mA Strom.

Empfohlene Controller / Verstärker

P-734.2CL: Modulares System E-500 mit Verstärkermodul E-503 (mehrkanalig) oder E-505 (1 je Achse, hohe Leistung) und E-509 Regler

P-734.2CD: E-710 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle wurde abgelöst

E-725 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, Tischgerät

E-712 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, modular

E-761 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, PCI-Karte

Zeichnungen / Bilder

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt P-734

XY- Piezoscanner, hochdynamisch, höchste Ablaufgenauigkeit, mit Apertur
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Dokumentation

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Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
3.0.0
Alle
pdf - 603 KB
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Benutzerhandbuch PZ103

P-733, P-734 Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
1.0.0
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3D Modelle

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P-734 STEP

Englisch
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