P-628KHFS Piezo-Kreuztisch mit Sub-Nanometer-Ablaufgenauigkeit

Langer Stellweg, aktive Z-Achse kompensiert Auswandern

Geregelter Stellweg 800 µm × 800 µm (bis 1500 µm möglich)
Ablaufebenheit <1 nm
Hochgenau und preisgünstig
Auflösung bis 0,1 nm
Positioniergenauigkeit 0,02 %
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren


Stellwege

Resonanzfrequenz, unbelastet

Belastbarkeit

Abmessungen

P-628KHFS Kreuztisch mit hoher Ablaufgenauigkeit

800 µm × 800 µm (X, Y)

75 Hz (X), 105 Hz (Y)

10 N

80 mm × 80 mm × (9,5 + 30) mm

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Datenblatt

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PI Datenblatt P-628KHFS

Piezo-Kreuztisch mit Sub-Nanometer-Ablaufgenauigkeit langer Stellweg, aktive Z-Achse kompensiert Auswandern
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Dokumentation

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Benutzerhandbuch PZ234

P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren
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