P-620.2 – P-629.2 PIHera Piezokreuztisch

Hochpräziser XY-Nanopositionierer mit variablen Stellwegen

  • Stellwege 50 bis 1800 µm
  • Auflösung bis 0,1 nm
  • Positioniergenauigkeit 0,02 %
  • Direkte Positionsmessung mit kapazitiven Sensoren
  • X-, XY-, Z-, XYZ-Versionen
P-620.2 – P-629.2 PIHera Piezokreuztisch
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Einsatzgebiete

  • Interferometrie
  • Mikroskopie
  • Nanopositionierung
  • Biotechnologie
  • Prüfverfahren und Qualitätssicherung
  • Photonik
  • Faserpositionierung
  • Halbleitertechnik

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt P-620.2 – P-629.2

Version / Datum
2023-12-12
pdf - 731 KB
Version / Datum
2023-12-12
pdf - 769 KB
Version / Datum
2018-05-17
pdf - 773 KB
Version / Datum
2018-07-03
pdf - 859 KB

Downloads

Produktmitteilung

Produktmitteilung

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt P-620.2 – P-629.2

Version / Datum
2023-12-12
pdf - 731 KB
Version / Datum
2023-12-12
pdf - 769 KB
Version / Datum
2018-05-17
pdf - 773 KB
Version / Datum
2018-07-03
pdf - 859 KB

Dokumentation

Dokumentation

Kurzanleitung PZ240

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum
6.2.0 03/2024
pdf - 561 KB
Version / Datum
6.2.0 03/2024
pdf - 595 KB
Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ234

P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren

Version / Datum
1.3.0 2021-11-03
pdf - 3 MB
Version / Datum
1.3.0 2021-11-03
pdf - 3 MB

3-D-Modelle

3-D-Modelle

P-62x.2 STEP

zip - 1,011 KB

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