XY Piezo-Nanopositionierer; 100 µm × 100 µm Stellweg (X × Y); Apertur 20 mm × 20 mm; DMS, indirekte Positionsmessung; LEMO-Stecker; 1,5 m Kabellänge
P-612.2 XY Piezo-Nanopositionierer
Kompakt, mit Apertur
- Kompakt: Grundfläche 60 mm × 60 mm
- 100 µm × 100 µm geregelter Stellweg (130 µm × 130 µm, ungeregelt)
- Für kostenkritische Anwendungen
- Freie Apertur 20 mm × 20 mm
- Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- Auch als Kompaktversion erhältlich
Einsatzgebiete
- Scanning-Mikroskopie
- Hochdurchsatz-Mikroskopie
- Superresolution-Mikroskopie
- Masken- / Waferpositionierung
- Interferometrie
- Messtechnik
- Biotechnologie
- Mikromanipulation
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen | P-612.2SL | Toleranz |
---|---|---|
Aktive Achsen | X Y | |
Stellweg in X | 100 µm | |
Stellweg in Y | 100 µm | |
Stellweg in X, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 130 µm | +20 / -0 % |
Stellweg in Y, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 130 µm | +20 / -0 % |
Linearitätsabweichung | 0,4 % | typ. |
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Y) | ± 10 µrad | typ. |
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X) | ± 10 µrad | typ. |
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X) | ± 10 µrad | typ. |
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Y) | ± 50 µrad | typ. |
Positionieren | P-612.2SL | Toleranz |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 10 nm | typ. |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | ± 10 nm | typ. |
Auflösung in X, ungeregelt | 0,8 nm | typ. |
Auflösung in Y, ungeregelt | 0,8 nm | typ. |
Integrierter Sensor | DMS, indirekte Positionsmessung | |
Systemauflösung in X | 5 nm | |
Systemauflösung in Y | 5 nm | |
Antriebseigenschaften | P-612.2SL | Toleranz |
Antriebstyp | PICMA® | |
Elektrische Kapazität | 1,5 µF | ±20 % |
Mechanische Eigenschaften | P-612.2SL | Toleranz |
Steifigkeit in X | 0,15 N/µm | ±20 % |
Steifigkeit in Y | 0,15 N/µm | ±20 % |
Resonanzfrequenz in X, unbelastet | 400 Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 100 g | 200 Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz in Y, unbelastet | 400 Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 100 g | 200 Hz | ±20 % |
Zulässige Druckkraft in X | 15 N | max. |
Zulässige Druckkraft in Y | 15 N | max. |
Zulässige Druckkraft in Z | 15 N | max. |
Zulässige Zugkraft in X | 5 N | max. |
Zulässige Zugkraft in Y | 5 N | max. |
Führung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | |
Gesamtmasse | 150 g | ±5 % |
Material | Aluminium, Stahl | |
Anschlüsse und Umgebung | P-612.2SL | Toleranz |
Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 °C | |
Anschluss | LEMO FFA.00.250.CTAC22 | |
Sensoranschluss | LEMO FFA.0S.304.CLAC32 | |
Kabellänge | 1,5 m | ±10 mm |
Empfohlene Controller / Treiber | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665 |
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Sonderausführungen auf Anfrage.
Downloads
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ280
P-612 XY-Nanopositioniersysteme und Nanopositionier-Hubtische
3-D-Modelle
P-612.2SL 3D-Modell
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