P-612.2 XY Piezo-Nanopositioniersystem

Kompakt, mit Apertur

Kompakt: Grundfläche 60 mm × 60 mm
100 µm × 100 µm geregelter Stellweg (130 µm × 130 µm, ungeregelt)
Für kostenkritische Anwendungen
Freie Apertur 20 mm × 20 mm
Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Auch als Kompaktversion erhältlich


P-612.2SL

P-612.20L

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X, Y

X, Y


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

DMS

-

Stellweg bei -20 bis +120 V, ungeregelt

130

130

µm

min. (20 % / -0 %)

Stellweg, geregelt

100

-

µm

Auflösung, ungeregelt

0,8

0,8

nm

typ.

Auflösung, geregelt

5

-

nm

typ.

Linearitätsabweichung

0,4

-

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

<10

-

nm

typ.

Neigen

±10

±10

µrad

typ.

Gieren in X / Y

±10 / ±50

±10 / ±50

µrad

typ.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit

0,15

0,15

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz unbelastet

400

400

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet, 100 g

200

200

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

15 / 5

15 / 5

N

max.

Belastbarkeit

15

15

N

max.


Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

1,5

1,5

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

1,9

1,9

µA/(Hzxµm)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium, Stahl

Aluminium, Stahl

Masse

105

105

g

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensoranschluss

LEMOStecker

-

Spannungsanschluss

LEMO Stecker

LEMO Stecker

Die Auflösung von PI-PiezoNanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Verstärker.

Empfohlene Controller

E-610 Piezoverstärker / Servocontroller, 1 Kanal

E-625 Piezoservocontroller, 1 Kanal

E-621 Piezoservocontroller, 1 Kanal

E-500 Modularer Piezocontroller mit E-503 Piezoverstärkermodul, 3 Kanäle

E-505 Piezoverstärkermodul (1 je Achse, hohe Leistung) mit E-509 Sensorauswertung / Regler

Zeichnungen / Bilder

PI P-612.2

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PI Datenblatt P-612.2

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