A-311 PIglide IS: XY-Planarscanner mit Luftlager

Kompaktes XY-Hochleistungs-Nanopositioniersystem

A-311 V2 IS XY Planar Stage
Ideal für Scan-Anwendungen oder Positionieren mit hoher Auflösung
Reinraumtauglich
Kundenspezifische Anpassungen möglich
Stellwege bis 200 mm × 200 mm
Belastbarkeit bis 15 kg
Kontaktlose vorgespannte Luftlager
Niedrige Bauhöhe
Auflösung bis 1 nm
Geschwindigkeit bis 1m/s
Beschleunigung bis 1g

Übersicht

Der hochpräzise PIglide IS XY Planarscanner besitzt eine flacher Bauform mit Luftlager und ist eine Alternative zu gestapelten XY-Verstellern. Die vorgelastete Luftlagerscheibe schwebt über einer gemeinsamen Basis in sowohl der X als auch der Y Richtung und liefert somit eine stufenlose, reibungsfreie Bewegung. Er ist ideal für Anwendungen mit hochpräzisen Anforderungen wie z.B. Inspektionsysteme, Laserbeschriftung, Mikroskopie oder Scanning. Der kompakte Aufbau spart Platz in Maschinen mit begrenzen Bauraum. Eisenlose Linearmotoren bieten einen gleichmäßigen Lauf ohne Cogging oder Anziehungskräfte. Direkt messende Linearencoder bieten Positionsauflösungen bis zu 1nm, abhängig von der Interpolation. Der PIglide IS wird mit Digitalcontrollern und Antrieben führender Hersteller betrieben, die fortschrittliche Regelalgorithmen zur Verbesserung der Dynamik und Führungsfehlerkompensation sowie eine große Auswahl an Werkzeugen für die Softwareentwicklung bieten.

 

Zubehör und Optionen

  • Luftreglermodule
  • Mehrachsige Motion Controller und Direktantriebe
  • Unterbauten
  • Schwingungsisolierungssysteme
  • Zusätzliches Zubehör und kundenspezifische Anpassungen verfügbar

Modell A-311.BA1

X-Achse (untere Achse)

Y-Achse (obere Achse)

Stellweg

150 mm

150 mm

Antriebssystem

Bürstenloser Servo-Linearmotor, 3 Phasen

 

Rückmeldungssystem

Berührlungslos messender optischer Linearencoder

 

Motor-Busspannung

Bis zu 80 VDC (48 VDC Nennstrom)

 

Maximale Geschwindigkeit*

Bis zu 1 m/s

 

Motor-Kraftkonstante

12,3 N/A

 

Motor-Gegen-EMK

10,1 V/m/s

 

Motorwiderstand

(@25°C, Phase zu Phase)

2 Ω

 

Maximale Beschleunigung*

Bis zu 1 g

 

Maximale Nutzlast**

15 kg

 

Genauigkeit***

±5,0 μm

 

Wiederholgenauigkeit

±0,5 μm

 
Encoderauflösung#

Bis zu 1,0 nm

 
Ebenheit##

<0,1μm / 25 mm, 1 μm TIR gesamt

 

Geradheit

<0,1μm / 25mm, 1 μm TIR gesamt

<0,1μm / 25mm, 1 μm TIR gesamt

Rollen/Nicken

1 Bogensekunden TIR

 

Gieren

2 Bogensekunden TIR

 

XY-Orthogonalität

5 Bogensekunden

 

Verstellermasse

20 kg

 

Bewegte Masse

5 kg

2,5 kg

Betriebsdruck###

65 (±5) psi (450 ±35 kPa)

 

Luftdurchsatz

< 2.0 SCFM (56 SLPM)

 

Luftqualität

Rein (gefiltert bis 1,0μm oder besser) and ölfrei

Trocken (-15 °C Taupunkt)

 

Aufbau

Hartbeschichtes Aluminum mit SS Befestigungsmaterial

 

* Maximale Geschwindigkeit und Beschleunigung auf Basis der Verstellerleistung, kann durch die Leistung des Controllers oder Antriebs begrenzt werden.

** Geht davon aus, dass der Lastenschwerpunkt mittig und nicht höher als 50mm über dem Verstellertisch liegt.

*** Kann durch eine Controller-gesteuerte Führungsfehlerkompensation verbessert werden.


# Encoderauflösung abhängig von den ausgewählten Optionen und der verwendeten Interpolation.

## Abhängig von der Grundplatte der Maschine und dem Isolationssystem, auf dem der Versteller montiert ist.

### Zum Schutz des Verstellers gegen Schäden, wird empfohlen, ein unter Druck gesetzter Luftsensor an den E-Stop-Eingang des Controllers zu verbinden.

Zeichnungen / Bilder

PI A-311

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Datenblatt

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PI Datenblatt A-311

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Sonstiges

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Whitepaper: Air Bearings: When to use and When to Avoid in your Motion Application

All Positioning Stages are not Created Equal. Author: Matt Reck, PI
WP4003 2015-09
Englisch
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