A-311 PIglide IS: XY-Planarscanner mit Luftlager

Kompaktes XY-Hochleistungs-Nanopositioniersystem

A-311 V2 IS XY Planar Stage
Ideal für Scan-Anwendungen oder Positionieren mit hoher Auflösung
Reinraumtauglich
Kundenspezifische Anpassungen möglich
Stellwege bis 200 mm × 200 mm
Belastbarkeit bis 15 kg
Kontaktlose vorgespannte Luftlager
Niedrige Bauhöhe
Auflösung bis 1 nm
Geschwindigkeit bis 1m/s
Beschleunigung bis 1g

Übersicht

Der hochpräzise PIglide IS XY Planarscanner besitzt eine flacher Bauform mit Luftlager und ist eine Alternative zu gestapelten XY-Verstellern. Die vorgelastete Luftlagerscheibe schwebt über einer gemeinsamen Basis in sowohl der X als auch der Y Richtung und liefert somit eine stufenlose, reibungsfreie Bewegung. Er ist ideal für Anwendungen mit hochpräzisen Anforderungen wie z.B. Inspektionsysteme, Laserbeschriftung, Mikroskopie oder Scanning. Der kompakte Aufbau spart Platz in Maschinen mit begrenzen Bauraum. Eisenlose Linearmotoren bieten einen gleichmäßigen Lauf ohne Cogging oder Anziehungskräfte. Direkt messende Linearencoder bieten Positionsauflösungen bis zu 1nm, abhängig von der Interpolation. Der PIglide IS wird mit Digitalcontrollern und Antrieben führender Hersteller betrieben, die fortschrittliche Regelalgorithmen zur Verbesserung der Dynamik und Führungsfehlerkompensation sowie eine große Auswahl an Werkzeugen für die Softwareentwicklung bieten.

 

Zubehör und Optionen

  • Luftreglermodule
  • Mehrachsige Motion Controller und Direktantriebe
  • Unterbauten
  • Schwingungsisolierungssysteme
  • Zusätzliches Zubehör und kundenspezifische Anpassungen verfügbar

Spezifikationen

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PI Datenblatt A-311

Kompaktes XY-Hochleistungs-Nanopositioniersystem
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Zeichnungen / Bilder

PI A-311

Downloads

Datenblatt

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Dokumentation

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Benutzerhandbuch A311D0001

A-311 PIglide IS: XY-Planarscanner mit Luftlager
Rev. 1.1
Englisch
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Sonstiges

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Whitepaper: Air Bearings: When to use and When to Avoid in your Motion Application

All Positioning Stages are not Created Equal. Author: Matt Reck, PI
WP4003 2015-09
Englisch
pdf - 3 MB