N-510KHFS Hochsteifer Z-Versteller mit NEXLINE® Piezoantrieb

Hochpräzise vertikale Positionierung, mit kapazitiven Sensoren

PI N-510KHFS
Auflösung in Regelung bis 2 nm
Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
Hybrider Piezoantrieb kombiniert hohe Steifigkeit, lange Stellwege und schnelles Ansprechen
Stellweg 400 µm grob, 40 µm fein
Direktmetrologie: Ein einziger Regelkreis mit kapazitiven Sensoren
Verschleißfreier Piezoschreitantrieb und überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren


Stellwege

Max. Geschwindigkeit

Bidir. Wiederholgenauigkeit

Max. Belastbarkeit

Abmessungen

N-510KHFS Hybrid-Fokussiersystem

Grob: 400 µm

Fein: 40 µm

1 mm/s

50 nm (voller Stellweg)

2,5 kg

Ø außen: 300 mm

Höhe: 68,5 mm

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PI Datenblatt N-510KHFS

Hochsteifer Z-Versteller mit NEXLINE® Piezoantrieb Hochpräzise vertikale Positionierung, mit kapazitiven Sensoren
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