N-510KHFS Hochsteifer Z-Versteller mit NEXLINE® Piezoantrieb

Hochpräzise vertikale Positionierung, mit kapazitiven Sensoren

N-510KHFS Hochsteifer Z-Versteller mit NEXLINE® Piezoantrieb
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Auflösung in Regelung bis 2 nm
  • Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
  • Hybrider Piezoantrieb kombiniert hohe Steifigkeit, lange Stellwege und schnelles Ansprechen
  • Stellweg 400 µm grob, 40 µm fein
  • Direktmetrologie: Ein einziger Regelkreis mit kapazitiven Sensoren
  • Verschleißfreier Piezoschreitantrieb und überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Spezifikationen

Datenblatt N-510KHFS

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Datenblatt

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N-510KHFS

Hybrid-Hubtisch, NEXLINE® und PICMA® Direktantriebe, 440 µm, 2 nm Auflösung