N-510KAWP Kraftvolle NEXLINE® Hub- und Kipp-Plattform

Nanometergenau für die Halbleiterindustrie, zur Waferjustage

Kraftvolle und nanometergenaue NEXLINE® Hub- und Kipp- Plattform zur Waferjustage
Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
Nichtmagnetische und Vakuumversionen möglich
Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
Verschleißfreier NEXLINE® Piezoschreitantrieb
Belastbarkeit bis 200 N
Inkrementeller Sensor mit 5 nm Auflösung, picometergenauer Dithering-Modus

Spezifikationen

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PI Datenblatt N-510KAWP

Kraftvolle NEXLINE® Hub- und Kipp-Plattform Nanometergenau für die Halbleiterindustrie, zur Waferjustage
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