N-510KAWP Kraftvolle NEXLINE® Hub- und Kipp-Plattform

Nanometergenau für die Halbleiterindustrie, zur Waferjustage

Kraftvolle und nanometergenaue NEXLINE® Hub- und Kipp- Plattform zur Waferjustage
Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
Nichtmagnetische und Vakuumversionen möglich
Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
Verschleißfreier NEXLINE® Piezoschreitantrieb
Belastbarkeit bis 200 N
Inkrementeller Sensor mit 5 nm Auflösung, picometergenauer Dithering-Modus


Stellwege

Max. Belastbarkeit

Abmessungen

N-510 NEXLINE® Hub- und Kipptisch

Z: 1,3 mm

θX, θY: 10 mrad

200 N

Ø 360 mm (14,2'')

Apertur: Ø 250 mm

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PI Datenblatt N-510KAWP

Kraftvolle NEXLINE® Hub- und Kipp-Plattform Nanometergenau für die Halbleiterindustrie, zur Waferjustage
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