N-510KAWP Kraftvolle NEXLINE® Hub- und Kipp-Plattform

Nanometergenau für die Halbleiterindustrie, zur Waferjustage

N-510KAWP Kraftvolle NEXLINE® Hub- und Kipp-Plattform
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  • Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
  • Nichtmagnetische und Vakuumversionen möglich
  • Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
  • Verschleißfreier NEXLINE® Piezoschreitantrieb
  • Belastbarkeit bis 200 N
  • Inkrementeller Sensor mit 5 nm Auflösung, picometergenauer Dithering-Modus

Spezifikationen

Datenblatt N-510KAWP

Dokumentsprache
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Datenblatt

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N-510KAWP

NEXLINE® Hub- und Kipptisch