N-510KAWP Kraftvolle NEXLINE® Hub- und Kipp-Plattform

Nanometergenau für die Halbleiterindustrie, zur Waferjustage

Kraftvolle und nanometergenaue NEXLINE® Hub- und Kipp- Plattform zur Waferjustage
Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
Nichtmagnetische und Vakuumversionen möglich
Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
Verschleißfreier NEXLINE® Piezoschreitantrieb
Belastbarkeit bis 200 N
Inkrementeller Sensor mit 5 nm Auflösung, picometergenauer Dithering-Modus

Spezifikationen

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Datenblatt N-510KAWP

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Bestellinformationen

Dieses Produkt ist eine Sonderentwicklung, die nicht in der Preisliste geführt wird.

Wenn das Produkt auf Ihre spezifischen Anforderungen passt, kontaktieren Sie bitte PI. Wir würden gerne mit Ihnen zusammenarbeiten um eine Lösung zu finden.
N-510KAWP
NEXLINE® Hub- und Kipptisch

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