S-331 Schnelle Kippplattform

Kurze Einschwingzeit und hohe dynamische Linearität

Kippwinkel bis 5 mrad, optische Ablenkwinkel bis 10 mrad (0,57°)
Parallelkinematisches Design für identisch hohe Leistungsmerkmale für beide Kippachsen
Hohe Resonanfrequenzen für dynamisches Bewegen und schnelles Einschwingen
Positionssensoren für hohe Linearität
Für Spiegel bis Ø 12,7 mm (0,5")

Kippplattform der Präzisionsklasse für Anwendungen mit hohen Anforderungen an die Dynamik

Zwei orthogonale Kippachsen mit gemeinsamem Drehpunkt. Parallelkinematisches Design für identische Leistungsmerkmale beider Achsen. Festkörpergelenke für reibungsfreie Bewegung und hohe Steifigkeit. Direkter Antrieb.

 

Dehnungssensoren für geringe Linearitätsabweichungen

Dehnmesstreifen mit geringer Temperaturempfindlichkeit. Linearitätsabweichung bis 0,1%.

 

PICMA® Hochleistungsantriebe

Piezokeramische Aktoren mit vollkeramischer Isolation. Höhere Lebensdauer, unempfindlich gegen Feuchtigkeit und hohe Betriebstemperaturen.

 

Einsatzgebiete

Bildverarbeitung, Bildstabilisierung. Laserstrahlsteuerung. Scanning-Mikroskopie. Materialbearbeitung, Lithografie. Optische Filter, optische Schalter.

 


S-331.2SL / S-331.2SH

S-331.5SL / S-331.5SH

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

θX, θY θX, θY


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

DMS

DMS

Kippwinkel in θX, θY bei -20 bis 120 V, ungeregelt

4,2

7

mrad

min.

Kippwinkel in θX, θY, geregelt

3

5

mrad

Auflösung in θX, θY, ungeregelt

0,05

0,1

µrad

typ.

Auflösung in θX, θY, geregelt

0,1

0,25

µrad

typ.

Linearitätsabweichung in θX, θY

0,4 *

0,1 **

0,4 *

0,1 **

%

typ.

Wiederholgenauigkeit in θX, θY, 10% Kippwinkel

0,3

0,5

µrad

typ.

Wiederholgenauigkeit in θX, θY, 100% Kippwinkel

3

5

µrad

typ.


Mechanische Eigenschaften

Resonanzfrequenz, unbelastet in θX, θY

10

6

kHz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet in θX, θY (mit Glasspiegel, Ø 12,7 mm, Dicke 3 mm)

6

4

kHz

±20 %

Abstand Drehpunkt-Plattformoberfläche

4

4

mm

±1 mm

Trägheitsmoment der Plattform

30

30

g × mm²

±20 %


Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA®

PICMA®

Elektrische Kapazität

0,96/Achse

1,44/Achse

µF

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

ID-Chip-Funktionalität

S-331.2SH

S-331.5SH

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material Gehäuse

Stahl

Stahl

Material Plattform

Titan

Titan

Masse

0,13

0,14

kg

±5 %

Kabellänge

2

2

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

LEMO (S-331.2SL), D-Sub 37 pol. (m) (S-331.2SH)

LEMO (S-331.5SL), D-Sub 37 pol. (m) (S-331.5SH)

* S-331.xSL in Kombination mit analogen Controller-Modulen E-5xx

** S-331.xSH in Kombination mit digitalen Controllern, unidirektional


Empfohlene Controller / Verstärker

Versionen mit LEMO-Steckern: Modulares Piezocontroller-System E-500 mit Verstärkermodul E-503.00S (dreikanalig) oder 1 x E-505.00S und 2 x E-505.00 (hochdynamische Anwendungen) und E-509 Reglermodul.Versionen mit D-Sub 37-Stecker: E-727-3SD / E-727.3SDA Digitale Mehrkanal-Piezocontroller für Dehnmessstreifen-Sensoren (DMS).

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt S-331

Schnelle Kippplattform kurze Einschwingzeit und hohe dynamische Linearität
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Dokumentation

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Benutzerhandbuch PZ256

S-331 Hochdynamische Piezokippsysteme mit hoher Steifigkeit
1.0.0 DE
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3D Modelle

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S-331 STEP

Englisch
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