P-541.Z • P-541.T Piezo-Hubtische / Hub- und Kipptische

Flache Bauform, große Apertur

P-541.Z • P-541.T Piezo-Hubtische / Hub- und Kipptische
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Niedrige Bauhöhe für leichte Integration: 16,5 mm
  • Apertur 80 mm × 80 mm
  • Stellweg bis 150 µm
  • Kippwinkel bis 1,2 mrad
  • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
  • Sensorik: Preisgünstige DMS-Sensoren oder kapazitive Sensoren für höhere Performance
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • Kombination mit Mikroskoptischen für große Stellwege möglich

Einsatzgebiete

  • Scanning-Mikroskopie
  • Superresolution-Mikroskopie
  • Biotechnologie
  • Masken- / Waferpositionierung
  • Probenpositionierung
  • Interferometrie
  • Messtechnik

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Hochdynamischer Mehrachsbetrieb durch Parallelkinematik

In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Die minimale Massenträgheit und die identische Auslegung aller Achsen erlauben eine schnelle, dynamische und dennoch präzise Bewegung.

Spezifikationen

Datenblatt P-541.Z - P-541.T

Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-06-06
Dokumentsprache
pdf - 600 KB
pdf - 607 KB
pdf - 701 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt P-541.Z - P-541.T

Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-06-06
Dokumentsprache
pdf - 600 KB
pdf - 607 KB
pdf - 701 KB

Dokumentation

Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
Version / Datum
4.0.0 2017-02-06
pdf - 635 KB

3-D-Modelle

P-541.Z STEP

Angebot / Bestellung

Fordern Sie ein unverbindliches Angebot über gewünschte Stückzahlen, Preise und Lieferzeiten an oder beschreiben Sie ihre gewünschte Modifikation. Produkte, die online verfügbar sind, können Sie direkt bestellen.

Kontaktieren Sie uns!

Erhalten Sie innerhalb kürzester Zeit per E-Mail oder Telefon eine Rückmeldung zu Ihren Fragen von einem PI Vertriebsingenieur.