P-541.Z Vertikaler Nanopositionierer

Große Apertur und flache Bauform

Niedrige Bauhöhe für leichte Integration: 16,5 mm
Apertur 80 mm × 80 mm
Hub- und Kipptische
Stellweg 100 µm
Kippwinkel 1 mrad
Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
Wahl der Sensorik: Hohe Performance oder preisgünstig
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Kombination mit Mikroskopietischen möglich

Systemeigenschaften

Systemkonfiguration: P-541.ZCD und modulares E-500 System mit E-503 Verstärker und E-509.C1A Regler; 20 g Last

Kleinsignalbandbreite: 60 Hz

Einschwingzeit (10 % Schrittweite): 9 ms


P-541.ZCD

P-541.TCD*

P-541.ZSL

P-541.TSL*

P-541.Z0L

P-541.T0L*

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

Z

Z, θX, θY

Z

Z, θX, θY

Z

Z, θX, θY


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

DMS

DMS

Ungeregelt

Ungeregelt

Stellweg Z bei -20 bis 120 V, ungeregelt

150

150

150

150

150

150

µm

min. (20 % / -0 %)

Kippwinkel θX, θY bei -20 bis 120 V, ungeregelt

±0,6

±0,6

±0,6

mrad

min. (20 %/-0 %)

Stellweg Z, geregelt

100

100

100

100

µm

Kippwinkel θX, θY, geregelt

±0,4

-

±0,4

mrad

Auflösung Z, ungeregelt

0,2

0,2

0,2

0,2

0,2

0,2

nm

typ.

Auflösung θX, θY, ungeregelt

0,02

0,02

0,02

µrad

typ.

Auflösung Z, geregelt

0,5

0,5

2,5

2,5

nm

typ.

Auflösung θX, θY, geregelt

0,08

0,25

µrad

typ.

Linearitätsabweichung Z, θX, θY

0,03

0,03

0,2

0,2

%

typ.

Wiederholgenauigkeit Z

<2

<2

<10

<10

nm

typ.

Wiederholgenauigkeit θX, θY

0,01

0,05

µrad

typ.

Verkippung θX, θY (Bewegung in Z)

±15

±15

±15

±15

±15

±15

µrad

typ.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit Z

0,8

0,8

0,8

0,8

0,8

0,8

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz Z, unbelastet

410

410

410

410

410

410

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz θX, θY, unbelastet

330

330

330

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz Z, 200 g

250

250

250

250

250

250

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz θX, θY, 200 g

270

270

270

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit

50 / 20

50 / 20

50 / 20

50 / 20

50 / 20

50 / 20

N

max.


Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

6,3

6,3

6,3

6,3

6,3

6,3

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

7,9

7,9

7,9

7,9

7,9

7,9

µA / (Hz × µm)

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

20 bis 80

20 bis 80

20 bis 80

20 bis 80

20 bis 80

20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Masse

750

750

730

730

700

700

g

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensoranschluss

D-Sub-Spezial

D-Sub-Spezial

LEMO

3 × LEMO

Spannungsanschluss

D-Sub-Spezial

D-Sub-Spezial

LEMO

3 × LEMO

LEMO

3 × LEMO

* Parallelkinematisches Design; die maximalen Auslenkungen für die translatorische und die Kippbewegungen können nicht gleichzeitig erreicht werden.

Die Auflösung von PI Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angaben als Positionsrauschen mit bzw. .

E-710 replaced by E-725

Empfohlene Controller / Verstärker

E-610 Piezoverstärker / Servocontroller, 1 Kanal

E-625 Piezoservocontroller, 1 Kanal

E-621 Piezoservocontroller, 1 Kanal

E-500 Modularer Piezocontroller mit E-503 Piezoverstärkermodul, 3 Kanäle

E-505 Piezoverstärkermodul (1 je Achse, hohe Leistung) mit E-509 Sensorauswertung / Regler

E-753 Digitaler Piezocontroller, 1 Kanal, Tischgerät

E-710 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle wurde abgelöst

E-725 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, Tischgerät

E-712 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, modular

E-761 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, PCI-Karte

Zeichnungen / Bilder

PI P-541.Z

Bestellinformationen

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt P-541.Z

Vertikaler Nanopositionierer große Apertur und flache Bauform
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Dokumentation

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Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
3.0.0
Alle
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3D Modelle

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P-541.Z STEP

Alle
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