P-518 • P-528 • P-558 Piezo-Hub- und Kipptisch

Hochdynamisch, mit großer Apertur

P-518 • P-528 • P-558 Piezo-Hub- und Kipptisch
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Hub- und Kipptische mit 3 Achsen / Hubtische mit 1 Achse
  • Hub- / Kippwinkel bis 200 µm / 2 mrad geregelt (bis 240 µm / 2,4 mrad ungeregelt)
  • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • Freie Apertur 66 mm × 66 mm
  • Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren

Einsatzgebiete

  • Messtechnik
  • Interferometrie
  • Photonik / integrierte Optik
  • Lithografie
  • Nanopositionierung
  • Scanning-Mikroskopie
  • Probenausrichtung
  • Mikrobearbeitung

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung

Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.

Spezifikationen

Datenblatt P-518 • P-528 • P-558

Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2017-10-04
Dokumentsprache
pdf - 669 KB
pdf - 677 KB
pdf - 870 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt P-518 • P-528 • P-558

Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2017-10-04
Dokumentsprache
pdf - 669 KB
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Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ82

P-517, P-518, P-527, P-528, P-558 Präzise Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
Version / Datum
2013-09-05
Version / Datum
2013-09-05
Dokumentsprache
pdf - 939 KB
pdf - 938 KB

Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
Version / Datum
4.0.0 2017-02-06
pdf - 635 KB

3-D-Modelle

P-5x8 STEP

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