P-518 • P-528 • P-558 Piezo-Hub- und Kipptisch

Hochdynamisch, mit großer Apertur

1- und 3-Achsenversionen
Hub- / Kippwinkel bis 200 µm / 2 mrad geregelt (bis 240 µm / 2,4 mrad ungeregelt)
Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Freie Apertur 66 mm × 66 mm
Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren

Spezifikationen

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Datenblatt P-518 • P-528 • P-558

2017-08-09
2017-08-09
2017-10-04
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Zeichnungen / Bilder

Bestellinformationen

P-558.ZCD
Präziser Nanopositionier-Hubtisch, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker
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P-558.ZCL
Präziser Nanopositionier-Hubtisch, 50 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker
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P-518.ZCD
Präziser Nanopositionier-Hubtisch, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker
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P-518.ZCL
Präziser Nanopositionier-Hubtisch, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker
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P-528.ZCD
Präziser Nanopositionier-Hubtisch, 200 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker
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P-528.ZCL
Präziser Nanopositionier-Hubtisch, 200 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker
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P-558.TCD
Präziser Nanopositionier-Hub- und Kipptisch, 50 µm, 0,6 mrad, Parallelmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker
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P-518.TCD
Präziser Nanopositionier-Hub- und Kipptisch, 100 µm, 1,4 mrad, Parallelmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker
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P-528.TCD
Präziser Nanopositionier-Hub- und Kipptisch, 200 µm, 2,4 mrad, Parallelmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker
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Sonderausführungen auf Anfrage.

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Datenblatt

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Datenblatt P-518 • P-528 • P-558

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Dokumentation

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Benutzerhandbuch PZ82

P-517, P-518, P-527, P-528, P-558 Präzise Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
2013-09-05
2013-09-05
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Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
4.0.0 2017-02-06
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3-D-Modelle

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P-5x8 STEP

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