P-915KWEF Piezo Hexapod

Feinjustierung und aktive dynamische Fehlerkorrektur

Belastbarkeit bis 1500 g
Kleinste Schrittweite 1 nm / 0,07 µrad
Stellwege bis 70 µm
Kapazitive Sensoren für dynamisches Scannen und präzises Positionieren

Hochdynamisches Sechs-Achsen-System der Referenzklasse

Parallelkinematischer Aufbau für sechs Freiheitsgrade, dadurch wesentlich kompakter und steifer als Seriellkinematik-Systeme, Höhere Dynamik, keine bewegten Kabel: höhere Zuverlässigkeit, reduzierte Reibung.

Piezoaktorische Direktantriebe mit hoher Steifigkeit und Resonanzfrequenz für dynamisches Positionieren.

Ein leistungsfähiger Echtzeit-Digitalcontroller steuert die Antriebsachsen

 

Kapazitive Positionssensoren

Direkte absolute Positionserfassung mit Sub-Nanometer-Genauigkeit und hoher Bandbreite und Stabilität

 

Anwendungen

Dynamische Optimierung von Axialschlag, Exzentrizität und Ebenheit von Drehtischen. Schwingungsisolierung, Feinjustage

Spezifikationen

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Datenblatt P-915KWEF

2015-03-30
2015-03-30
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Bestellinformationen

Dieses Produkt ist eine Sonderentwicklung, die nicht in der Preisliste geführt wird.

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P-915KWEF
Piezo-Hexapod zur aktiven dynamischen Korrektur der Winkelfehler von Drehtischen

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2015-03-30
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