P-587 6-Achsen-Piezopräzisionsversteller

Große Stellwege, mit direkter Positionsmessung

P-587 6-Achsen-Piezopräzisionsversteller
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  • Zum Scannen und Positionieren in X, Y, Z, θX, θY, θZ
  • Linearstellweg 800 µm × 800 µm × 200 µm
  • Rotation bis 1 mrad
  • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
  • Kapazitive Sensoren für höchste Linearität
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Aktive Kompensation in allen 6 Freiheitsgraden

Einsatzgebiete

  • Interferometrie
  • Messtechnik
  • Nanoimprint
  • Halbleitertests
  • Halbleiterfertigung

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

Spezifikationen

Datenblatt P-587

Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-05-08
Dokumentsprache
pdf - 635 KB
pdf - 643 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt P-587

Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-05-08
Dokumentsprache
pdf - 635 KB
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Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ251

P-587.6CD 6-Achsen-Nanopositioniersystem mit kapazitiven Sensoren
Version / Datum
2014-03-27
Version / Datum
2014-03-27
Dokumentsprache
pdf - 720 KB
pdf - 740 KB

Angebot / Bestellung

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