P-587 6-Achsen-Piezopräzisionsversteller

Große Stellwege, mit direkter Positionsmessung

PI P-587
Zum Positionieren und Scannen in X, Y, Z, θX, θY, θZ
Linearstellweg 800 µm × 800 µm × 200 µm
Rotation bis 1 mrad
Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
Kapazitive Sensoren für höchste Linearität
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Aktive Kompensation in allen 6 Freiheitsgraden

Spezifikationen

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Datenblatt P-587

2015-01-30
2015-01-30
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Zeichnungen / Bilder

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Datenblatt

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Datenblatt P-587

2015-01-30
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Dokumentation

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Benutzerhandbuch PZ251

P-587.6CD 6-Achsen-Nanopositioniersystem mit kapazitiven Sensoren
2014-03-27
2014-03-27
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