P-562.6CD PIMars 6-Achsen-Piezosystem

Hochpräzises Nanopositioniersystem mit 6 Freiheitsgraden

P-562.6CD PIMars 6-Achsen-Piezosystem
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • 6 Bewegungsachsen: 3 × linear, 3 × rotatorisch
  • Stellwege bis 200 µm linear und bis 1 mrad Kippwinkel
  • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
  • Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Exzellente Scan-Ebenheit
  • Freie Apertur 66 mm × 66 mm
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • UHV-kompatibel bis 10-9 hPa

Einsatzgebiete

  • Scanning-Mikroskopie
  • Superresolution-Mikroskopie
  • Biotechnologie
  • Masken- / Waferpositionierung
  • Probenpositionierung
  • Interferometrie
  • Messtechnik

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung

Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

Spezifikationen

Datenblatt P-562.6CD

Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-06-07
Dokumentsprache
pdf - 647 KB
pdf - 654 KB
pdf - 742 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt P-562.6CD

Version / Datum
2018-05-08
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2018-05-08
Version / Datum
2018-06-07
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3-D-Modelle

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