P-562.6CD PIMars 6-Achsen-Piezosystem

Hochpräzises Nanopositioniersystem mit 6 Freiheitsgraden

6 Bewegungsachsen: 3 × linear, 3 × Rotation
Stellwege bis 200 µm linear und bis 1 mrad Kippwinkel
Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Exzellente Scan-Ebenheit
Freie Apertur 66 mm × 66 mm
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
UHV-kompatibel bis 10-9 hPa

Spezifikationen

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PI Datenblatt P-562.6CD

PIMars 6-Achsen-Piezosystem hochpräzises Nanopositioniersystem mit 6 Freiheitsgraden
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