P-562.6CD PIMars 6-Achsen-Piezosystem

Hochpräzises Nanopositioniersystem mit 6 Freiheitsgraden

6 Bewegungsachsen: 3 × linear, 3 × rotatorisch
Stellwege bis 200 µm linear und bis 1 mrad Kippwinkel
Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Exzellente Scan-Ebenheit
Freie Apertur 66 mm × 66 mm
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
UHV-kompatibel bis 10-9 hPa

Einsatzgebiete

  • Scanning-Mikroskopie
  • Superresolution-Mikroskopie
  • Biotechnologie
  • Masken- / Waferpositionierung
  • Probenpositionierung
  • Interferometrie
  • Messtechnik

 

Spezifikationen

Datenblatt P-562.6CD

Version / Datum
2018-02-19
Version / Datum
2018-02-19
Dokumentsprache
pdf - 878 KB
pdf - 884 KB

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Datenblatt

Datenblatt P-562.6CD

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2018-02-19
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3-D-Modelle

P-562.6CD STEP

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