6-Achsen-Piezopositionierer

Nanometer-Präzision in sechs Freiheitsgraden

Die differenzielle Ansteuerung der Aktoren für eine Bewegungsrichtung kombiniert mit einem digitalen Motion Controller ermöglicht die Justage von Proben oder Messsonden nicht nur in den linearen Achsen sondern zusätzlich in Kipp- und Drehwinkeln.