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N-865 NEXACT® SpaceFAB

6 Freiheitsgrade, höchste Präzision, flache Bauform

N-865 NEXACT® SpaceFAB
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Sechs Freiheitsgrade
  • Freie Apertur
  • Sensorauflösung 0,5 nm
  • 15 N Belastbarkeit
  • Selbsthemmend im ausgeschalteten Zustand: Spart Energie und verringert die Wärmeentwicklung

PiezoWalk® Technologie: Hohe Auflösung und niedriger Verschleiß

Die PiezoWalk® Technologie kombiniert die technologischen Vorteile von Piezoaktoren mit denjenigen von Piezomotoren. PiezoWalk® Schreitantriebe bieten nicht nur eine Sub-Nanometer-Auflösung, hohe Kräfte und hohe Steifigkeiten, sondern ermöglichen auf Basis ihres Antriebsprinzips theoretisch unbegrenzte Stellwege. PiezoWalk® Schreitantriebe sind anders als andere piezomotorische Antriebsprinzipien keinen Gleitreibungseffekten unterworfen. Sie basieren auf Haftreibungskontakten mehrerer Piezoaktoren, die auf einem Läufer schreiten. Für den Vorschub heben die Aktoren physikalisch vom Läufer ab, wodurch kaum Verschleiß und Abrieb auftritt. Die Vorspannung der Aktoren gegen den Läufer sorgt für die Selbsthemmung des Schreitantriebs. Somit hält der Schreitantrieb die Position in Ruhe und im ausgeschalteten Zustand mechanisch stabil (kein Servozittern). Aufgrund dieser Selbsthemmung in Ruhe wird keine Energie verbraucht und keine Wärme erzeugt.

Direkte Positionsmessung mit PIOne Linearencoder

Der hochauflösende PIOne Encoder wurde von PI entwickelt und erlaubt bei entsprechender Messauswertung eine Positionsauflösung von weit unter einem Nanometer. Die optisch und kontaktlos arbeitenden PIOne Encoder basieren auf einem interferometrischen Messprinzip. Sie messen die Ist-Position mit höchster Genauigkeit direkt an der bewegten Plattform, so dass Nichtlinearität, mechanisches Spiel oder elastische Deformation keinen Einfluss auf die Positionsmessung haben. Durch die kleine Signalperiode von 0,5 µm und die hohe Qualität der Signale erreichen PIOne Encoder eine Linearitätsabweichung von weniger als 1 %. PIOne Encoder unterstützen die Richtungserkennung bei der Auswertung eines Referenzsignals.

Kreuzrollenlager

Bei Kreuzrollenlagern wird der Punktkontakt der Kugeln in Kugellagern durch den Linienkontakt gehärteter Rollen ersetzt. Sie sind dadurch wesentlich steifer und kommen mit geringerer Vorspannung aus, was die Reibung reduziert und einen gleichmäßigeren Lauf ermöglicht. Kreuzrollenlager zeichnen sich darüber hinaus durch hohe Führungsgenauigkeit und Tragfähigkeit aus. Zwangsgesteuerte Wälzkörperkäfige verhindern ein Auswandern der Linearführung.

Geltende Patente

Im technologischen Umfeld der Piezoschreitantriebe (NEXACT®, NEXLINE®) hält PI folgende Patente oder Patentanmeldungen:

DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2

Einsatzgebiete

Probenmanipulation, Positionierung von Proben, Optiken oder mechanischen Komponenten mit hoher Präzision und Stabilität, Präzisionsmechanik in der Halbleiterindustrie, Mikromanipulation, Mikroskopie, Automatisierung, Anwendungen unter beengten Platzverhältnissen, Anwendungen im Vakuum oder in nichtmagnetischen Umgebungen.

Spezifikationen

Datenblatt N-865

Version / Datum
2017-05-03
Version / Datum
2017-05-03
Version / Datum
2017-08-08
Dokumentsprache
pdf - 701 KB
pdf - 585 KB
pdf - 598 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt N-865

Version / Datum
2017-05-03
Version / Datum
2017-05-03
Version / Datum
2017-08-08
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Angebot / Bestellung

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N-865.160 NEW!
SpaceFAB, NEXACT® Piezoschreitantrieb, ±6,5 mm Stellweg in X und Y, ±5 mm Stellweg in Z, ±7° Rotationsbereich in θx und θy, θz, ±8° Rotationsbereich in θz, 15 N Belastbarkeit in Z

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